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當(dāng)前位置:鄭州科佳電爐有限公司>>化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)>>低真空CVD系統(tǒng)>> KJ-T12001200雙溫區(qū)觸摸屏CVD系統(tǒng)
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號KJ-T1200
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式:范經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間:2024-07-14 14:39:30瀏覽次數(shù):127次
聯(lián)系我時马绝,請告知來自 食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)模型 | KJ-T1200 | |
部分:標(biāo)準(zhǔn)件 | ||
管式爐 | 展示 | LED類型 |
限度溫度 | 1200℃ | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 建議:0~10℃/min | |
溫區(qū) | 300mm + 300mm 雙區(qū) | |
加熱元件 | 電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ () | |
管尺寸 | 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L) | |
材質(zhì):石英管 | ||
溫度控制 | 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動控制 | |
加熱曲線 | 30 步可編程 | |
真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭侯繁。 法蘭的一端有 2 個帶倒鉤的針閥猪攀,裝有機(jī)械壓力表迄咸。 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
功率 | 220V,50 Hz劫陌,單相 6KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10 -3 Torr。 管內(nèi)的真空度約為 10 -1 Torr晶睦。 (RM溫度和空管條件) 流量:2.6 L / S (泵照片僅供參考碱框,實際外觀取決于最終設(shè)計) 旋片真空泵將設(shè)計成帶輪子的推車。帶連接附件 包括數(shù)字真空計 3.8x10 -5 至 1125 Torr 測量范圍 耐腐蝕爱茫,與氣體類型無關(guān) |
帶液晶觸摸屏控制器的定制質(zhì)量流量計 (七星級品牌) | 一個浮子流量計 + 四個精密質(zhì)量流量計: MFC 精度為:±1.5% FS MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣 MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷:氣體流量范圍 0~100 sccm 氬氣 MFC 4: 氣體流量范圍 0~100 sccm 氧氣 MFC 5: 氣體流量范圍 0~100 sccm FFC 1 氬氣和氮氣混合氣體: 氣體流量范圍 0~100sccm 一種氣體混合罐(僅適用于 5 MFC)安裝在底殼上册灾,5 個不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè),用于手動控制 5 種氣體混合慰沸。 |
1拷拗、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障磷像,均予以免費維修涩霞。保修期滿后,仍提供終身的邦匆、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)睦绍。
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3怠蹂、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4少态、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試城侧、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)彼妻。
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