產(chǎn)品名稱		3通道CVD設(shè)備
型號(hào)		KJ-T1600 -3M
管式爐部分	顯示	液晶觸摸屏
	溫度	1600℃
	工作溫度	≤1500℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)	300mm
	加熱元件	MoSi2
	熱電偶	B型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管尺寸	80x1000mm
		材質(zhì)：氧化鋁管
	塞磚	包括兩個(gè)纖維陶瓷塊掰闯，用于阻擋來自管內(nèi)的熱輻射（陶瓷塊必須在加熱前插入爐腔）枪第。
	溫度控制	PID自動(dòng)控制
	真空法蘭	帶閥門的不銹鋼真空法蘭
	電源	220V, 50 Hz, 單相6KW
質(zhì)量流量計(jì) （液晶觸摸屏）	三臺(tái)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3：氣體流量范圍0~200 sccm （氣體流量范圍可根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥的钞，手動(dòng)控制3種氣體混合
更多參數(shù)可按需定制

 1兜蠕、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障铆农，均予以免費(fèi)維修牺氨。保修期滿后，仍提供終身的墩剖、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)猴凹。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的岭皂，我公司將盡快做出處理方案郊霎，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3爷绘、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)书劝。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試土至、整機(jī)維護(hù)购对、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5陶因、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)协包，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)忠牛、保修手冊(cè)幔憋、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）克鼠。
 6全乙、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。