中圖儀器NS系列探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器商模，其主要用于臺階高奠旺、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量施流。NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC响疚，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時瞪醋，其集成了超低噪聲信號采集忿晕、超精細運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)银受，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性践盼。

工作原理

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動宾巍。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況因摸。

NS系列探針接觸式臺階儀通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征。一個精密的xy載物臺聯(lián)合掃描軸R和轉(zhuǎn)臺θ叭蜂，在測針下移動樣品侦滩，測針中的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對應(yīng)的電信號。然后將這些電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式唬研，在其中它們可以顯示在計算機屏幕上并進行操作以確定有關(guān)基材的各種分析信息假祝。可以微調(diào)掃描長度和掃描速度尼削，以增加或減少分析時間和分辨率虎内。此外，測力可調(diào)以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面静瞄。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度耗鲸，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射乙闰、SIMS懒潘、沉積、旋涂互墓、CMP等工藝期間沉積或去除的材料必尼。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線篡撵，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra判莉、RMS、Rv育谬、Rp券盅、Rz等數(shù)十項參數(shù)帮哈。

3）應(yīng)力測量：可測量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度锰镀，即可開始測量娘侍。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置泳炉，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式憾筏，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置花鹅，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置氧腰，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標(biāo)參數(shù)的分析呐缸，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢三钦。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑疫谱，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡叽燃。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時姚菱，可現(xiàn)場快速更換掃描測針校惧，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進行快速標(biāo)定，確保換針后的精度和重復(fù)性皂汞，減少維護煩惱竣篷。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

典型應(yīng)用

NS系列臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強，其對被測樣品的反射率特性熄晕、材料種類及硬度等均無特殊要求傲丹，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏尔网、光學(xué)加工酬俯、LED、MEMS器件顷歌、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位锰蓬，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評定眯漩、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義芹扭。

臺階儀測量薄膜厚度

NS系列臺階儀利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度赦抖，具有測量精度高舱卡、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度轮锥，包括金屬矫钓、陶瓷、塑料等舍杜。如針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景新娜，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位蝴簇；

2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能探快，實現(xiàn)一鍵多點位測量鹤曼；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢榨狐；

部分技術(shù)指標(biāo)

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