中圖儀器NS系列涂層厚度測量臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率扇丛，同時术吗，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制帆精、標定算法等核心技術(shù)较屿，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

它是利用光學(xué)干涉原理卓练，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度隘蝎，具有測量精度高、測量速度快襟企、適用范圍廣等優(yōu)點嘱么。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬顽悼、陶瓷拱撵、塑料等。如針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景绎揭，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺卑绢，能夠快速定位到測量標志位专稼；

2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能蛮嘹，實現(xiàn)一鍵多點位測量缰嘴；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢诲要；

工作過程

測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面行兼，測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點云信號，數(shù)據(jù)點云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)粱目。

NS系列涂層厚度測量臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強楣善，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求挫蓝，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體陡花、太陽能光伏、光學(xué)加工抒寂、LED结啼、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位屈芜，其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征郊愧，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義井佑。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度属铁，可以準確測量蝕刻、濺射躬翁、SIMS红选、沉積、旋涂姆另、CMP等工藝期間沉積或去除的材料喇肋。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線迹辐，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra蝶防、RMS、Rv袍城、Rp叨斜、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3）應(yīng)力測量：可測量多種材料的表面應(yīng)力篓翠。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度转隘，即可開始測量。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后酥徽，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置暑苍，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式由颗，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置越稻，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置坛铭，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析键瓢，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢秤歼。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑订骂，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡射桅。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針，當需要執(zhí)行換針操作時膜钓，可現(xiàn)場快速更換掃描測針嗽交，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定，確保換針后的精度和重復(fù)性呻此，減少維護煩惱轮纫。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率腔寡，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾焚鲜，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)放前，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面忿磅，采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量凭语；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌葱她，杜絕運動中的細微抖動，真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌似扔。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）