半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL

應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制赴涵，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣订讼、故障診斷髓窜、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多欺殿。

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL

密閉循環(huán)系統(tǒng)

整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)寄纵，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份脖苏，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升程拭，低溫自動補充導熱介質(zhì)。

安全防護

具有自我診斷功能：相序斷相保護器盼掘、冷凍機過載保護督羊，高壓壓力開關(guān)，過載繼電器彰巫、熱保護裝置等多種安全保障功能塑赁。不用更換導熱介質(zhì)，而且不需要加壓的情況下就可以實現(xiàn)-60℃~200℃連續(xù)控溫。

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置糠味，CMP (工藝機械拋光)吆踏，實驗室精密裝置、高精度測試儀器渊伐、醫(yī)美設備轩丁、固態(tài)激光器、模具溫控等多析。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作仙商，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉(zhuǎn)初祠、液面降低筝野、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小粤剧、保護裝置

快速升溫/降溫歇竟、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)

運行穩(wěn)定抵恋、準確控溫