Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高薛津、溫度范圍廣恐呢、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置椭药。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多挚蟹。

Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

適合元器件測試用設(shè)備，在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中蓬甩，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在多種溫度下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬木影。 用于芯片、模塊珠慧、集成電路板璃淤、電子元器件等提供且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試唬辛、失效分析伙斯、可靠性評估的儀器設(shè)備。應(yīng)用于半導(dǎo)體企業(yè)泉扛、航空航天笛坦、光通訊、高校苔巨、研究所等領(lǐng)域版扩。

Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制侄泽、可靠性高

定時運轉(zhuǎn)礁芦、液面降低、停電復(fù)位悼尾、防凍功能

溫度波動小

占地面積小柿扣、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率闺魏、降低運營成本和保障生產(chǎn)

運行穩(wěn)定未状、準(zhǔn)確控溫