1．氣體從鋼瓶出來眼栽，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口阶务，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量贸渐，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口忧龙，氣體從出氣管出來当盘，經(jīng)過三通閥門接窍，一端連接真空泵，一端連接出氣口驮肄。

2．混氣罐上接有壓力表川霞，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。

3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥悬朱，安全有保證勇垛。

4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管士鸥，耐腐蝕性好闲孤。

5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好烤礁，耐壓高崭放。

二、技術(shù)參數(shù)：

氣路通道： 4

氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器鸽凶。

接 口： Φ6

顯 示： LED

工作環(huán)境溫度: 5~45℃

流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細技術(shù)參數(shù)請查看后面）

四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)

壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截 止 閥：Φ6

三币砂、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣玻侥，只要氣體能正常流出來即可决摧。

四、供氣系統(tǒng)的配置：

1凑兰、質(zhì)子流量計：4個

2掌桩、壓力表：1個

3、截止閥門：5個

4姑食、穿板接頭：5個

5波岛、閥門接頭：2個

6、鋼瓶接頭: 4個

7道竖、聚四氟乙烯管：20M

8锅吝、混氣罐：1個

9、爐架：1臺

質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型汰浊，模擬電路询晦，橡膠密封，管狀分流丐作，不易堵塞捉泣。

主要指標:

量程：5、10秒聪、20舵素、30、50跷焚、100弥容、200易解、300、500SCCM燎字、1腥椒、2、3候衍、5笼蛛、10SLM（你可以任意選擇量程）

• 準確度：±1.5% F.S
• 線性：±0.5～1.5% F.S
• 重復(fù)精度：±0.2% F.S
• 響應(yīng)時間：10S
• 氣壓降：<0.01MPa
• 壓力：3MP
• 工作環(huán)境溫度：5～45℃
• 輸入輸出信號：0～+5.00V
• 電源：+15V 50mA -15V 50mA
• 外形尺寸：158*30*110

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外）蛉鹿，在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障滨砍，均予以免費維修。保修期滿后妖异，仍提供終身的惋戏、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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 3舔亭、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4椅洗、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試巧焕、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)耍缩。
 5转甥、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標準安全包裝進行交印。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊享立、保修手冊、有關(guān)資料及配件辙肿、隨機工具等）秘挥。
 6昂待、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證诀甫。