SJ6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)儀具有高測(cè)量精度和重復(fù)性柳恐，可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量方式，不會(huì)對(duì)被測(cè)量物體造成損傷热幔。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組乐设，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度断凶、直線度伤提、垂直度、平行度认烁、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量肿男。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移来鸟、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)皂州，以及進(jìn)行位移、速度甲祖、加速度劈产、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析鞍伟、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析卡涮、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件秀吧，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件皱耗。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組醒腹、角度鏡組极棵、直線度鏡組、垂直度鏡組漆暑、平面度鏡組嗤详、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中瓷炮，線性鏡組為標(biāo)配葱色，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成娘香〔哉可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度茅主、反向間隙的測(cè)量與分析舞痰，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償土榴。

線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)响牛、機(jī)器人玷禽、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備呀打、線性位移平臺(tái)矢赁、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量贬丛。

動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

1蹈瑟、基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

（1）運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置

（2）高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)

（3）高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試

振動(dòng)監(jiān)視

（1）掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合

（2）機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速坊秉、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

（1）被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

（2）FFT快速傅立葉變換分析

2相誓、基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量前忿，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集贡按。

3、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵扁奢、編碼器惫吝、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀逻袭，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集每镀。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集肢俄。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性克矿、角度、直線度彻秆、垂直度楔绞、平行度结闸、平面度唇兑、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床桦锄、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度扎附、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角结耀、扭擺角留夜、直線度、垂直度等图甜；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)碍粥；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表鳖眼，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能嚼摩，包括位移分析钦讳、速度分析、加速度分析枕面、振幅和頻率分析等栖挣，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析贮祥、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等夫次；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)儀非接觸式程昨、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)搔冈，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床咖亏、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度躯括、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角杏恍、扭擺角轮昧、直線度、垂直度等胆狐。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能熟排，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式虱而。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃筏餐，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍：±10°

平面度測(cè)量范圍：±1.5mm

直線度測(cè)量范圍：±3mm

垂直度測(cè)量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要牡拇，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改魁瞪，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解惠呼。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息导俘，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。