SJ6000激光干涉儀中圖儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組倡挚，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度筷疹、直線度、垂直度辙资、平行度瞳竖、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下癌雷，激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移乡捧、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移魄仙、速度牵观、加速度抓惫、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1塌自、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心径楼，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)悟旧，可實(shí)現(xiàn)高精度嚼锄、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出蔽豺；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊区丑，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)修陡，避免干涉鏡受熱影響沧侥，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2魄鸦、功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性宴杀、角度、直線度号杏、垂直度婴氮、平行度、平面度盾致、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量主经；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度庭惜、重復(fù)定位精度等仇钞，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角籽钝、直線度毯甘、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)航赦；

（4）可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表沙书，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能犹狮，包括位移分析优学、速度分析、加速度分析箱藏、振幅和頻率分析等陡敞，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析鲜堆、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等掖沸；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償殖咨。

3、軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面烛亦；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊诈泼；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文此洲、英文和俄文界面厂汗；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

4呜师、標(biāo)準(zhǔn)多

SJ6000激光干涉儀中圖儀器內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)娶桦，包含GB、ISO汁汗、英標(biāo)衷畦、美標(biāo)、德標(biāo)祈争、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)〗谴纾可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)菩混，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件叁席，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件棍潜。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組蚕察、角度鏡組针如、直線度鏡組、垂直度鏡組犯党、平面度鏡組艇泡、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中示董，線性鏡組為標(biāo)配广狂，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成艾烫∠杭兀可滿(mǎn)足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度拐棺、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償框全。

激光干涉儀測(cè)量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床察绷、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等）干签，SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量拆撼。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較容劳，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸闸度，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)竭贩、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中莺禁，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直留量，而不動(dòng)直線度反射鏡。

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸哟冬，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇楼熄，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)浩峡。

激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

數(shù)控機(jī)床機(jī)械誤差補(bǔ)償包含記憶式相對(duì)位置補(bǔ)償（jue對(duì)值）與記憶式螺距誤差補(bǔ)償（增量值）兩種可岂，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補(bǔ)償?shù)拇碇弧．?dāng)采用激光干涉儀進(jìn)行增量值補(bǔ)償時(shí)村钧，會(huì)遇到數(shù)據(jù)怎么對(duì)應(yīng)補(bǔ)償點(diǎn)位置的問(wèn)題僵息。

增量值補(bǔ)償時(shí)有幾個(gè)重要參數(shù)：

參考點(diǎn)：參考點(diǎn)也就是基準(zhǔn)點(diǎn)。

zui負(fù)端：設(shè)定zui靠近負(fù)端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號(hào)臊骂。

zui正端：設(shè)定zui靠近正端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號(hào)咕咸。

補(bǔ)償倍率：寫(xiě)入機(jī)床系統(tǒng)補(bǔ)償量的生效倍率。

補(bǔ)償間隔：機(jī)床補(bǔ)償校準(zhǔn)時(shí)的補(bǔ)償間距搪狈。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍穆递，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改林品，恕不另行通知词惭，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息增队，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)扣墩。