數(shù)控機床激光干涉儀sj6000具有測量精度高、測量速度快囤檐、高測速下分辨率高门烧、測量范圍大等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組膊护，可實現(xiàn)線性測長鹅棺、角度兜充、直線度、垂直度脂性、平行度雄睦、平面度等幾何參量的高精度測量。動態(tài)測量軟件配合下汹振，可實現(xiàn)線性位移娇裁、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移沼津、速度荞篙、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析科绣，如振動分析殿姑、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等肯适。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件变秦，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列框舔，依次為線性鏡組蹦玫、角度鏡組、直線度鏡組雨饺、垂直度鏡組钳垮、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺额港。

主要鏡組圖

其中饺窿，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡移斩、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成肚医。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度向瓷、重復(fù)定位精度肠套、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償夜川。

性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床日俱、三坐標、機器人麻百、3D打印設(shè)備款拣、自動化設(shè)備、線性位移平臺拴猖、精密機械設(shè)備朋傲、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量应惠。

產(chǎn)品功能特點

1、精度高

SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心昨跺，其光波可直接對米進行定義天尤。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度发娶、抗擾力強擦钾、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊硫朦，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償贷腕；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響咬展，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2瞒斩、功能廣

（1）可實現(xiàn)線性破婆、角度、直線度胸囱、垂直度祷舀、平行度、平面度烹笔、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量裳扯；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度谤职、重復(fù)定位精度等饰豺，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角允蜈、直線度冤吨、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準帆田；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表训寝，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能般蚪，包括位移分析恨蒙、速度分析、加速度分析恶稼、振幅和頻率分析等教够，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析涌俘、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等权煎；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償蒂扇。

3、軟件強

（1）友好的人機界面狱揩；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊喝暂；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文彻犁、英文和俄文界面叫胁；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

4汞幢、標準多

部分技術(shù)指標

主機

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃驼鹅，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

如有疑問或需要更多詳細信息森篷，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢输钩。