中圖儀器SJ6000超精密機(jī)床激光干涉儀具有測(cè)量精度高粤街、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大笑驶、高測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn)晌颅，廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)粤蝎、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)真仲、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域初澎。

SJ6000超精密機(jī)床激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組秸应，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度碑宴、直線度软啼、垂直度、平行度延柠、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量祸挪。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移贞间、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)贿条，以及進(jìn)行位移、速度增热、加速度整以、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析嗤矾、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析勒蜘、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性拒牡、角度炊惊、直線度、垂直度随去、平行度亮钩、平面度佃逆、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床儒淌、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等荡担，以及導(dǎo)軌的俯仰角品客、扭擺角、直線度准瘪、垂直度等粟翔；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表讼载，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)轿秧；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析咨堤、速度分析菇篡、加速度分析、振幅和頻率分析等一喘，可進(jìn)行振動(dòng)分析驱还、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等凸克；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償议蟆。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件萎战。主要鏡組如下圖所列咐容，依次為線性鏡組、角度鏡組蚂维、直線度鏡組戳粒、垂直度鏡組、平面度鏡組侦广、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)聋遮。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配庆率，由線性干涉鏡仪丛、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成∪淼睿可滿足線性位移設(shè)備的定位精度卒粮、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析骨惫，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償钱挺。

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心惕拍，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)辣沧，可實(shí)現(xiàn)高精度狼棠、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出哀铡；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊杯聚，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)抒痒，避免干涉鏡受熱影響幌绍，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

部分技術(shù)規(guī)格

注意事項(xiàng)：

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍彩届，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息伪冰，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。