RION液體粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

液體中的粒子污染對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著顯著的影響。此外干奢，在人們的消費(fèi)生活中懸浮于液體的粒子特性對(duì)人類也有影響痊焊，所以在各個(gè)領(lǐng)域?qū)τ谝后w中粒子的控制也變得尤為重要盏袄。液體粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)用戶液體流路進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)忿峻，同時(shí)產(chǎn)生報(bào)表，用于問題查找分析辕羽，是用戶生產(chǎn)管理*的一部分逛尚。

液體粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

RION液體粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

液體粒子計(jì)數(shù)器的使用主要是為了控制化學(xué)品種的粒子垄惧，如半導(dǎo)體制作過程中的材料SOG（旋轉(zhuǎn)涂布玻璃）和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑（比如堿街赊、有機(jī)溶劑）搜计。另外，也可以檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液等娘介。

特殊氣體粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

使用在半導(dǎo)體杉藐、平板顯示器、太陽(yáng)能電池和其他行業(yè)的產(chǎn)品處理中的許多原材料氣體是有毒用载、易燃攒置、腐蝕性和活躍性的。比如這些氣體會(huì)和水汽發(fā)生反應(yīng)從而輕易產(chǎn)生顆粒物披蚕〖馓梗控制這些反應(yīng)從而抑制粒子在特殊氣體中的污染是很有必要的。