半導(dǎo)體真空閥門-半導(dǎo)體真空球閥參數(shù)：

操作方式 ：1/4 Turn pneumatic open and close

壓力范圍： 2 bar ~ 1x10-4 mbar

泄漏率: 9x10-7 mbar.l/sec

材質(zhì)：316 S.S , PTFE

壓力：<=2 bar

溫度 ：<=Cylindr 80°C/Body 100°C

空氣壓縮連接頭 : 2x1/4"NPT

氣體壓力 : 4-7 kg/cm2

主要服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器律愉、太陽能臭呀、光電喂磷、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)聊树、科研機(jī)構(gòu)等高科技領(lǐng)域欲访。奇高閥門專注于真空閥門領(lǐng)域，因其研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界口碑的好品質(zhì)峦筏，半導(dǎo)體芯片設(shè)備以及太陽能設(shè)備制造廠商都在其機(jī)臺(tái)設(shè)備中大量采用了奇高公司的產(chǎn)品宏动。

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