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產(chǎn)品用途：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離梭唆，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強蟋真，很容易發(fā)生反應踱陡，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質(zhì)量酷它、SiO2薄膜荸跃、Si3N4薄膜、SiC薄膜悦阿、硬質(zhì)薄膜柄露、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等丝板，是科研機構(gòu)和大學實驗室的理想產(chǎn)品窒汤。

產(chǎn)品介紹：
該設備是一款定制的PECVD系統(tǒng)，增加了傾斜吓篙、旋轉(zhuǎn)功能杉硅。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，高溫管式爐深怕，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機組杏死。可用于生長納米或石墨烯材料捆交。

技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸	80*長度1600mm 可選其他直徑Φ50淑翼，60，80品追，100玄括，120，150mm
爐管材質(zhì)	石英管
加熱區(qū)	單溫區(qū)诵盼，溫區(qū)長度400mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	觸屏控制
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min可調(diào) 惠豺，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭	標配配有不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封风宁、撤卸方便洁墙、可重復撤卸，磁流體密封戒财，氣密性好可實現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過程中的高真空热监。
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù)	采用高真空分子泵組，爐管內(nèi)真空度可達10-3pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計（量程可選）
等離子電源部分
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調(diào)）
售后服務	質(zhì)保一年饮寞，終身保修（耗材類：高溫密封圈悬占、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍）
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制

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