半導體EDI超純水設備
隨著半導體赠尾、電子行業(yè)的技術(shù)發(fā)展次翩，對水處理設備的需求也越來越廣泛，國內(nèi)外超純水設備的技術(shù)也獲得了飛速的發(fā)展和廣泛的應用揣响，涌現(xiàn)出一大批超純水處理方面領(lǐng)域的公司企業(yè)局权，拒徐。目前國內(nèi)的超純水制備行業(yè)正處于快速的發(fā)展階段，但是相比國外的發(fā)展水平仍有很大的差距又竞。隨著國內(nèi)半導體生產(chǎn)線的普及辖备，超純水制備設備的需求越來越大，目前國內(nèi)的現(xiàn)代超純水水質(zhì)以電阻率疫鹊、TOC（總有機碳）拆吆、細菌枣耀、微粒、DO（溶解氧）牺堰、可溶硅颅围、離子和金屬雜質(zhì)等參數(shù)來表征谷浅，它們對器件影響大椅砸。因此揍久，這就需要設計一臺能夠制備滿足指標要求的浸沒液超純水處理系統(tǒng)，以保證光刻機的正常運行迁耘。超純水處理系統(tǒng)是制備超純水的自動控制系統(tǒng)伴竹，在光刻機中它作為浸沒控制系統(tǒng)中的子模塊，主要負責對超純水的制備粤未，對超純水污染物質(zhì)進行處理缚袒，并達到浸沒供給液各項指標要求绢贵。
超純水設備
EDI超純水設備工作原理：
EDI工作原理如圖所示。EDI膜塊中將一定數(shù)量的EDI單元用格板隔開桂对，形成濃水室和淡水室鸠匀。又在單元兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下逾柿，通過淡水室水流中的陰陽離子分別透過陰陽離子交換膜遷移到濃水室而在淡水室中去除机错。如下圖：
電場使進水中的水分子在離子交換樹脂界面離解成H+及OH-毡熏，并不斷地再生淡水室中陰狱窘、陽離子交換樹脂愈饲。離子交換樹脂中的陰碴纺、陽離子在再生過程中受到相應正負電極的吸引仇习，透過陽拭奖、陰離子交換樹脂向所對應的離子膜的方向遷移。當這些離子透過交換膜進入濃室后，H+及OH-重新結(jié)合成水褐袒。這種H+及OH-的產(chǎn)生、湮滅及陰恐仑、陽離子遷移正是離子交換樹脂得以實現(xiàn)連續(xù)再生的機理腕让。
EDI超純水設備組成部分：
1、淡水室將離子交換樹脂填充在陰觉鼻、陽離子交換膜之間形成淡水室
2、濃水室在相鄰淡水單元的陰陽離子交換膜之間添加樹脂，形成濃水室冬溯；
3录教、極水室在電極板與相鄰離子交換膜中間添加樹脂，形成極水室斩角。
一個膜塊中有正、負兩個極水室疯特；
4、絕緣板和壓緊板
5、電源及水路連接
參數(shù)：
產(chǎn)品品牌：
設備名稱：
行業(yè)用途：
設備水量：0.5T（可按照客戶需求定制）
生產(chǎn)水量：0.5T/小時
工作方式：24小時連續(xù)工作
控制方式：全自動控制
進水溫度：10℃—35℃
進水水質(zhì)：市政水 地下水 地表水 廢水
出水水質(zhì)：超純水（電導率≤0.1us/cm）
純水效率：75%以上
額定電壓：380V
原水泵功率：0.5KW/小時
高壓泵功率：1.5KW/小時
產(chǎn)品服務：
1旺遮、售后服務
（1）從設計到生產(chǎn)、運行耿眉、售后全程資料边翼，免費保存15年。
（2）設備運行狀況終身跟蹤溅鞠，短信徽七、電話提醒客戶更換耗材，免費提供設備運行記錄技術(shù)分析服務仙茴，對系統(tǒng)運行狀況進行判斷敞灸，防患于未然。
（3）設備故障30分鐘提出解決方案翠蓄，快24小時內(nèi)上門維修用狱。
2盯孙、產(chǎn)品培訓
培訓至少1-2名設備操作管理人員庵恨，培訓完成后進行技能考核念弧，考試合格上崗。
培訓內(nèi)容：基礎(chǔ)理論捂龄、設備構(gòu)造刀脏、設備操作衔耕、設備維護保養(yǎng)、儀表校正、設備故障排除卤档、現(xiàn)場實操等瀑踢。
3佣虑、品質(zhì)承諾
半導體EDI超純水設備
