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品 牌
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更新時(shí)間:2023-01-12 09:30:01瀏覽次數(shù):326次
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簡(jiǎn)要描述:VTC-1RF是一款小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型),配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源矗寂,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,特別是一些氧化物薄膜勇蝙。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索沫勿,它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
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等離子源 |
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磁控濺射頭 |
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真空腔體 |
<5×10-5 torr (采渦旋分子泵) |
載樣臺(tái) |
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真空泵 | 我公司有多種真空泵可選,請(qǐng)點(diǎn)擊圖片常籍,或是致電我公司銷售 |
薄膜測(cè)厚儀 |
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質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證 |
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外形尺寸 |
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使用注意事項(xiàng) |
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