SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量俯重，在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測炫瘤、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工夕锹、微納材料及制造蚀稻、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天把意、科研院所等領(lǐng)域中府塘。可測各類從超光滑到粗糙绿捶、低反射率到高反射率的物體表面棚疏，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度婆精、微觀幾何輪廓继溯、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D沈条、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)需忿。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能蜡歹；

(2)測量中提供自動對焦屋厘、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能月而；

(3)測量中提供自動拼接測量汗洒、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平父款、圖像修描溢谤、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能憨攒；

(5)分析中提供粗糙度分析世杀、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析瞻坝、功能分析等五大分析功能结笨；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

三維白光干涉表面形貌儀基于白光干涉原理傅慈，以3D非接觸方式蹦虏，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度碘淘，平面度刮血，平行度，臺階高度惰采，錐角等等）颂鞭；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑栋锣，特征區(qū)域的面積和體積刑袒，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品谍竿、部件和材料表面的平面度程悼、粗糙度、波紋度路影、面形輪廓诬像、表面缺陷、磨損情況闸婴、腐蝕情況坏挠、孔隙間隙、臺階高度邪乍、彎曲變形情況降狠、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要庇楞，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改榜配，恕不另行通知，不便之處敬請諒解姐刁。

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