中圖儀器SuperViewW系列3d輪廓儀三維形貌儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙咽娃、低反射率到高反射率的物體表面塑验，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度彤敛、微觀幾何輪廓与帆、曲率等。它是以3D非接觸方式墨榄，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸玄糟，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度袄秩，平行度茶凳，臺(tái)階高度，錐角等等）播揪；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸贮喧，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積猪狈，特征圖形的位置和數(shù)量等等）箱沦。

它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊雇庙、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像谓形，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D穆惩、3D參數(shù)柒谈，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高咖自、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能胖辨；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋逼渤、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能讹毁；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能焙厂；

(4)分析中提供校平让多、圖像修描、去噪和濾波扫钝、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能顶食；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析刁祸、結(jié)構(gòu)分析熄阻、頻率分析齿穗、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能饺律。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品窃页、部件和材料表面的平面度、粗糙度复濒、波紋度脖卖、面形輪廓、表面缺陷巧颈、磨損情況畦木、腐蝕情況、孔隙間隙砸泛、臺(tái)階高度十籍、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析唇礁。

應(yīng)用范例：

SuperViewW系列3d輪廓儀三維形貌儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)勾栗、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工盏筐、微納材料及制造幌侧、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天规学、科研院所等領(lǐng)域中整栏。測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)橡周，具有測(cè)量精度高碗昭、操作便捷、功能全膊向、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)体笨。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量切役。

部分技術(shù)指標(biāo)

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