中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓測量儀是以白光干涉技術原理矫评，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器卜壕，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度烙常、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量轴捎。它具有測量精度高、操作便捷蚕脏、功能齊全侦副、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短驼鞭，確保了高款率檢測秦驯。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能挣棕；

(2)測量中提供自動對焦译隘、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能洛心；

(3)測量中提供自動拼接測量固耘、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平皂甘、圖像修描玻驻、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能哪峰；

(5)分析中提供粗糙度分析冷吏、幾何輪廓分析、結構分析守搬、頻率分析些惑、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能杰趾。

應用領域

對各種產(chǎn)品鲸锻、部件和材料表面的平面度、粗糙度稀销、波紋度鸡捉、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況甚岩、腐蝕情況贱按、孔隙間隙、臺階高度涡相、彎曲變形情況哲泊、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

SuperViewW1光學3d輪廓測量儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測催蝗、3C電子玻璃屏及其精密配件切威、光學加工、微納材料及制造丙号、汽車零部件先朦、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中槽袄±游蓿可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面遍尺，從納米到微米級別工件的粗糙度截酷、平整度、微觀幾何輪廓乾戏、曲率等迂苛，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準鼓择。

部分技術指標

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢宋睦。