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Diener 等離子清洗機選購件

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更新時間：2022-06-09 11:44:09瀏覽次數(shù)：258次

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上海爾迪儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

Diener 等離子清洗機選購件

詳細介紹

等離子設備的選裝件和配件

我們的等離子設備具有以下選裝件/配件 - 其在大多數(shù)情況下可以加裝 - 可用：

2.45 GHz-發(fā)生器（微波）

功率達到 0 - 850 瓦特凉倚，發(fā)生器擁有一個 PC 接口。主要應用領域為活化、清洗蔫迅、蝕刻、半導體（前端）芜田、半導體（后端）具藐、等離子體聚合。

13.56 MHz-發(fā)生器

為了符合 DIN EN 55011 標準蜈沛，我們的 13.56 MHz 發(fā)生器經(jīng)過石英穩(wěn)定化處理庞溜。阻抗匹配是固定的，手動和自動均可碑定。主要應用領域為活化流码、清洗、蝕刻延刘、半導體（前端）漫试、半導體（后端）、等離子體聚合碘赖。

40 kHz-發(fā)生器

僅可進行自動阻抗匹配驾荣，其功率具有兩個版本。主要應用領域為活化普泡、清洗秘车、蝕刻、半導體（后端）劫哼、等離子體聚合。

2 路 2 通方向閥用于液體計量

閥門用于針對性計量單體割笙。

活性炭過濾器

活性炭過濾器便于更換权烧。

真空抽吸過濾器

防止真空泵被飛出的零部件損壞，其涂層防止受到污染勉惋。

自動門

一扇在工藝流程開始時會自動關閉的門励邓。

條形碼讀取器

用于跟蹤批次。

加熱型腔室

該腔室可加熱至約 80 °C丧爸。溫度可以調(diào)節(jié)窟礼。其適用于限定的工藝條件和較高的蝕刻速率。

偏置電壓測量系統(tǒng)

偏置電壓測量系統(tǒng)是一種測量儀器带超，其適用于kHz 和 MHz 發(fā)生器绰尖。

鼓泡器瓶

鼓泡器瓶屬于聚合配件，并且被用于將液體單體連接至真空腔室昨宋。使用一種載運氣體進行工作吹磕，取代了簡單的單體瓶诅慧。用單體沖洗載運氣體，例如壤牙，氬氣班聂。

蝶閥

為了對氣流進行控制，使用了一個蝶閥适肠，其在真空泵的吸氣管道內(nèi)部主要采用了真空技術霍衫。為此，需通過調(diào)節(jié)閥門來改變管道中的流動阻力侯养，該閥門會或多或少的封閉管道敦跌。

當?shù)卣Z言的文件

文件是按照機器指令 89/392/EWG 進行編制的。其并不適用德語和英語沸毁。該文件并不會自行隨附于設備峰髓，必須單獨訂購。

轉(zhuǎn)鼓

產(chǎn)品支架型用于裝載散裝件息尺。

壓力計

Pirani 傳感器或者 Baratron 壓力指示器位于真空腔室中携兵。

減壓器

減壓器用于連接 200 bar 的氣瓶。不同的氣體需要不同的減壓器搂誉。故此徐紧，針對惰性氣體 H₂, O₂, CF₄, C4F₈ 具有一種減壓器，針對 NH₃另具有一種減壓器炭懊。

連續(xù)生產(chǎn)系統(tǒng)

用于在一條自動化加工生產(chǎn)線中整合一臺低壓等離子設備并级。

標準備件套件或者 PFPE

備件套件包括：各 1 個夾緊環(huán)、1 個密封件侮腹、1 個不銹鋼波紋軟管（真空軟管）迈窗、1 塊窗玻璃、1 個夢密封條栋灿、10 個用于等離子設備的小型熔斷器惑妥，標準套件還包含 1 升用于真空泵的礦物油，PFPE 套件還包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油浴瞭。

標簽打印機

在等離子處理之后自動打印標簽示荠。

標簽讀取器

用于對批次進行跟蹤。

Faraday 盒 / 籠

用于電敏感零部件岳散。將待處理的零部件置于 Faraday 盒中节立。可將其從真空腔室中去除眠煮。

氣瓶架

固定于工作臺患并、架子或者墻壁條處≤钌螅跨度為 70mm晨墓。固定張力皮帶稽羔，不得活動。其適用于所有氣瓶規(guī)格唐片。

氣體檢測儀（德爾格）

在工作場所使用時的額外安全選裝件丙猬。

半自動控制

關于我們的各種控制變量的詳細說明，您可以在菜單項“等離子設備/控制/半自動控制"下找到费韭。

加熱板

將待處理的零部件置于加熱板上茧球，可將其加熱至 150 °C，其適用于規(guī)定的工藝條件和較高的蝕刻速率星持。其具有兩個選裝件：

配備了溫度指示器抢埋，在真空腔室的內(nèi)部安裝了一個溫度傳感器，督暂，借此可以對零部件的表面溫度進行測量揪垄。配備了集成于 PC 控制系統(tǒng)中的溫度指示器，還在真空腔室的內(nèi)部安裝了一個溫度傳感器逻翁，饥努，借此可以對零部件的表面溫度進行測量。顯示屏上會顯示溫度八回。

現(xiàn)場安裝您的等離子設備

該選項包括了我們服務人員的差旅時間酷愧、工作時間以及差旅費。

腐蝕性氣體設計結(jié)構(gòu)

閥門均為不銹鋼材質(zhì)撼烹，配管均為不銹鋼材質(zhì)濒垫。如果采用等離子體聚合法或者使用腐蝕性氣體，例如远燕，NH₃, H₂O, CF₄, SF₆的時候久泞，則具有強制性要求。

客戶的產(chǎn)品支架

標準情況下奖放，我們的設備總是和一個產(chǎn)品支架一同交付的淡藻。附加或者其他設計結(jié)構(gòu) - 用于實現(xiàn)等離子設備的使用 - 可在與 Diener electronic 公司協(xié)商之后制作完成。

噴漆/玻璃板套件（無 LABS 測試）

用于進行油漆濕潤干擾測試的配件酿边。供貨范圍：5 灌噴漆，每灌 400 ml竟恩。100 塊玻璃板恶恨，每塊 90 mm x 110 mm。

真空腔室慢速通風裝置

通過一個過濾器對真空腔室進行緩慢的通風伸坑。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)痴猖。

真空腔室的慢速抽吸裝置

通過旁路閥對真空請示進行緩慢的抽吸。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)念脯。

較長的真空腔室 (Femto, Pico, Nano, ...)

真空腔室可以采用不銹鋼材質(zhì)狞洋、硼硅玻璃或石英玻璃材質(zhì)弯淘。腔室閉鎖件可選擇蓋子或者配有鉸鏈的門。真空腔室的長度取決于您對于等離子應用的需要吉懊。請和我們聯(lián)系庐橙。

功率指示燈

顯示發(fā)生器的功率。模擬指示器-儀表借嗽。

多層電極

多層電極適用于圓形和/或矩形真空腔室态鳖。可以一次對多個零部件進行處理恶导。應用領域為標準等離子工藝浆竭。請和 Diener electronic 公司就您個性化電極的確切結(jié)構(gòu)以及制作產(chǎn)品支架的其他材料方面進行洽詢。

微波泄漏檢測儀

由于可能會用到危險的輻射惨寿，所以需為微波設備安裝一個微波泄漏檢測儀邦泄。

單體瓶

聚合配件。用于將液態(tài)單體連接至真空腔室裂垦。

網(wǎng)絡連接

借此可將設備與計算機連接顺囊。

OES - 光發(fā)射光譜儀

對等離子工藝進行監(jiān)控，以確保質(zhì)量赎冶。檢測等離子工藝的最終產(chǎn)物扣飘。OES 只能和一個 PC 控制型設備一同使用。

PC 控制系統(tǒng)

關于我們的各種控制變量的詳細說明幌舍，您可以在菜單項“等離子設備/控制/PC 控制"下找到杀蝌。

PCCE-控制系統(tǒng)

基于 Windows CE 環(huán)境，配有觸摸面板屋孕。關于我們的各種控制變量的詳細說明咖播，您可以在菜單項“等離子設備/控制/PCCE 控制"下找到。

聚合配件

包括蒸發(fā)瓶硕纯、一個天平秤铣佛、計量泵、加熱器握帘、可能還有支架袜晌。

工藝氣體-氣瓶

氧氣-氣瓶用作工藝氣體的連接，其為 2.5 和 10 升規(guī)格篱俊，氫氣-氣瓶的規(guī)格為 2 升但惶，氬氣-氣瓶的規(guī)格為 5 升。針對氣體供應湿蛔，需將特殊的運輸條件考慮在內(nèi)膀曾。如果使用的是出租設備，則必須購買氣瓶。

石英玻璃舟皿

共提供兩種規(guī)格添谊。用于超高純度等離子工藝或者晶片處理财喳。

RIE-電極

分為圓形和矩形兩種，均被不銹鋼材質(zhì)斩狱，可獲得較高的蝕刻速率耳高。應用領域為各向異性和各向同性蝕刻。

具有氣體噴淋的 RIE 電極

矩形喊废，不銹鋼材質(zhì)祝高。通過均勻的氣體分布，可獲得較高的蝕刻速率污筷。

卷到卷系統(tǒng)

例如工闺，用于處理膜 / 引線框架。

氧氣發(fā)生器

環(huán)境空氣中會產(chǎn)生氧氣瓣蛀。型號 Kr?ber O2尾烛。氧氣輸出率：3-6 l/min。

安全閥

用于采用踢周，例如萤考，氫氣、乙炔...

專用電極和產(chǎn)品支架

請和 Diener electronic 公司就您個性化電極的確切結(jié)構(gòu)以及制作產(chǎn)品支架的其他材料方面進行洽詢黎撤。

特殊法蘭 / 其他法蘭

如果需要用到的接口數(shù)量超過準備好的接口數(shù)量乒柳，則可以使用特殊法蘭。

特殊真空腔室

按照 DIN 12198 標準侄灭，在我們的設備附近（觀察窗）進行了紫外線輻射測量彭铐。結(jié)果：無害。特殊真空腔室具有圓形配蓋子的結(jié)構(gòu)亏傅，以及矩形配門（門配有鉸鏈）的結(jié)構(gòu)摊谢，其為鋁制結(jié)構(gòu)，還可以通過開孔直徑和內(nèi)部大小來進行區(qū)分醉装。請和我們聯(lián)系辕芳。

標準電極，圓形或者矩形

不銹鋼板/鋁板材質(zhì)宵睦，適用于標準等離子工藝记罚。

TEM-樣品架

特殊裝置，用于從外部導入等離子體腔室壳嚎⊥┲牵可以提供任何尺寸。請告知我們您的零部件的尺寸/圖紙诬辈。

溫度指示器

腔室溫度的溫度指示器酵使，不含加熱板。真空腔室內(nèi)部安裝了一個溫度傳感器焙糟】谟妫可借此測量零部件的表面溫度。溫度指示器也可以集成于 PC 控制系統(tǒng)之中穿撮。會在顯示屏上顯示溫度缺脉。

測試墨水-套件

測試墨水用于對表面張力進行簡單分析。一個套件中包含了 28, 38, 56, 64, 72 和 105 mN/m悦穿。其他數(shù)值需按要求提供攻礼。

熱蒸發(fā)器

適用于具有較低蒸汽壓力的基材。杯口直徑：16 mm落怀，杯容量： 0,1 l.屏蔽等離子效果甚宜，控制溫度（ 500 °C ）和溫度上升速度（可達 250 °C/min ）。需通過小法蘭結(jié)構(gòu)進行連接百览。

真空腔室為玻璃材質(zhì)（硼硅或石英）

硼硅玻璃材質(zhì)的真空腔室適用于高純度等離子工藝映情。石英玻璃材質(zhì)的真空腔室適用于超高純度等離子工藝。