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無塵烘箱百級無塵烘箱聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱

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更新時間：2024-01-27 10:05:36瀏覽次數(shù)：327次

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產(chǎn)品簡介

一．特點：1.在普通環(huán)境下使用醇电，能夠確保烘箱內部等級達到Class1002.溫度控制采用控智能控制系統(tǒng)，可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求翰鲸，操作方便!3.全周氬焊复答，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器碟渺，防機臺本身所產(chǎn)生微塵

詳細介紹

一．特點：
1.在普通環(huán)境下使用鲜锚，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.溫度控制采用控智能控制系統(tǒng)，可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求苫拍，操作方便!
3.全周氬焊芜繁，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器绒极，防機臺本身所產(chǎn)生微塵骏令；
4.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔垄提，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE伏社；
5.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%塔淤，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
二．執(zhí)行與滿足標準
1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件
2.GB2423.2-1989試驗B
三．用途
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD速妖、CMOS高蜂、IS、醫(yī)藥索王、實驗室等生產(chǎn)及科研部門丢华。
無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理对番、老化等其他高溫試驗码署。
無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)每缎，曝光朝财、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片燃圾、砷化鎵龟栗、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈弧泊、防氧化烘烤焰醇，亦可用于LCD昧甲、TFT、COMS腿扒、生物昼牛、醫(yī)藥、光學鍍膜康聂、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構贰健。
四．產(chǎn)品技術參數(shù)
1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-03-PC
2.主要技術指標：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍： 60～ +250℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;(空載）
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式早抠。
2.7工作尺寸：W600×D500×H1050
2.8電源：380v , 50Hz霎烙，9.5Kw
3、箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分蕊连、電器控制柜悬垃、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結構合理甘苍，外觀美觀大方尝蠕；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊载庭，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器看彼，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆囚聚，可防止微塵靖榕；
3.4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔乃倔，去油污避免
烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE翎襟；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔镊僚，去油污及氬
焊密封加工(防污染)寿针。
4、采用智能控制系統(tǒng),歐姆龍/匯川PLC
　　　　　　 10〃TFT真彩觸摸薄屏
　　　　　　  程式編輯：可預編120個程式镰钦，每個程式可編99段径卜，共1200段
　　　　　　  歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
　　　　　　  可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，操作方便!
5箫驻、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//電熱過電流保護裝//馬達過電流保護//機臺異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開關