食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
物理氣相沉積設(shè)備機(jī)
慷吊、產(chǎn)品用途
本設(shè)備為磁控濺射工藝鍍膜設(shè)備，可用于Al曹抬、Au溉瓶、Pt、Cr谤民、Ti堰酿、Ni、Cu张足、NiCr触创、TiW、W为牍、SiO2哼绑、Al2O3、TaN碉咆、ITO抖韩、LCO、LiP等各種金屬盆篡、非金屬豹炊、化合物薄膜材料的制備。通過(guò)穩(wěn)定可靠的高精度真空機(jī)械手臂春异，將基片在工藝室和傳輸室間傳輸遂报，實(shí)現(xiàn)工藝室不放大氣，連續(xù)生產(chǎn)氛坪。配置高性能濺射靶頭瞳弱，可根據(jù)客戶需求定制。
2挺候、技術(shù)參數(shù)
| 基片尺寸 | 可選：4"框嫁、6"、8"即钞、12" |
| 極限真空度 | 8×10-6Pa（分子泵配置） |
| 前級(jí)泵 | 可選：機(jī)械泵形炬、干泵 |
| 主泵 | 可選：分子泵、低溫泵 |
| 加熱器 | 600℃，可選配升降及旋轉(zhuǎn)功能 |
| 工藝氣體 | 配3路MFC充氣亏吝，氣體種類可選岭埠，更多需求可定制 |
| 水路系統(tǒng) | 采用進(jìn)口水路檢測(cè)傳感器，實(shí)現(xiàn)各路水流量及溫度的監(jiān)控 |
| 軟件控制 | 可編輯蔚鸥、儲(chǔ)存多種工藝配方惜论，任意調(diào)用，適用于工藝研究 |
| 具備“一鍵啟動(dòng)式（全自動(dòng)）生產(chǎn)”功能止喷，適用于小批量生產(chǎn) | |
| 賬戶分三級(jí)權(quán)限設(shè)置馆类，提高系統(tǒng)安全性及工藝保密性 | |
| 各種安全互鎖設(shè)計(jì)，防止誤操作 | |
| 其他 | 如有其他特殊需求可定制 |
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)（龍泉驛）弹谁，是一家以自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)為核心乾巧，致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。
公司與國(guó)內(nèi)外多個(gè)研究所预愤、高校和企業(yè)*合作沟于，始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力，服務(wù)于客戶植康。
公司主營(yíng)業(yè)務(wù)覆蓋：Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備旷太、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備销睁、CVD設(shè)備祟勿、核心部件（機(jī)械手、加熱器碉讯、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺(tái)）鹤鲤、定制化真空設(shè)備褐琼、機(jī)電一體自動(dòng)化服務(wù)（機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù)）等一系列的產(chǎn)品或解決方案订淑。
公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧，質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營(yíng)理念涤瘸，同時(shí)加強(qiáng)售前售后服務(wù)搁排，我們始終以“質(zhì)量良好、服務(wù)優(yōu)先延砾、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)占窥。
公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才，針對(duì)客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案段辈，更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望唆海，深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)！
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊(duì)憾宅，并另聘請(qǐng)研究員1人赞季，大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊(duì)6人，高級(jí)工程師2人，涵蓋真空工程申钩、材料科研次绘、等離子物理，器件物理撒遣、化管理等方面的各種人才邮偎。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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