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詳細介紹
真空烤盤爐
應用于LED行業(yè)MOCVD石墨盤的真空烘烤工藝
產(chǎn)品特點
● 優(yōu)質(zhì)的材質(zhì)保證了設備的密封性重贺，提高了設備的整體性能
● 法蘭盤冷卻水處理骑祟，密封處全部采用氟橡膠密封圈，保證設備的密封性及使用壽命
● 內(nèi)置冷卻電機气笙，保證設備的低漏率次企，且運行可靠
● 真空室的壓升率為5×10-3Torr /h，氦質(zhì)譜儀進行檢漏潜圃，漏率在E-11Pa.m3/s級
● 全自動程序控制功能缸棵，自動化程度高，自動與手動可隨時轉(zhuǎn)換谭期，處理異常情況極為方便
● 關鍵部件全部采用進口部件堵第，具有高可靠性
● 具有良好的人機界面
● 系統(tǒng)故障自診功能
● 完善的報警系統(tǒng)及安全系統(tǒng)
● 具有歷史記錄功能
● 可根據(jù)用戶的特殊要求增減開發(fā)相應功能
技術指標
規(guī)格與性能 | VBF-465 | VBF-650 | VBF-800 | VBF-1000 |
安裝尺寸 W×L×H | 2450×2500×2050 | 2480×2500×2150 | 2930×2880×2400 | 3310×3000×2700 |
加熱區(qū)尺寸φ×L | Φ520×700 | Φ750×750 | Φ890×1000 | Φ1080×1100 |
工作區(qū)尺寸φ×L | Φ480×600 | Φ650×740 | Φ800×900 | Φ1000×1000 |
載重量 | 120Kg～200Kg | |||
加熱體功率 | 環(huán)狀石墨加熱器 380V 三相 總加熱功率90～120KVA | |||
絕熱系統(tǒng) | 多層石墨氈、柔性石墨紙 | |||
高溫度 | 1450℃（超溫限制） | |||
分壓氣體選擇 | N2/混合氣體（Forming gas） | |||
備壓氣體選擇 | N2 | |||
大升溫速率 | 10℃/min(空爐) | |||
溫度均勻性 | ±4℃（800～1400℃） | |||
冷態(tài)真空度 | （冷爐隧出、空載踏志、大氣壓狀態(tài)下達到10-3 Torr）:≤30min | |||
抽氣速率 | 清潔空爐：30min大于10-2 Torr | |||
腔體漏率 | 5×10-3 Torr/h | |||
大冷卻速率 | 快冷開啟之前可控可編 | |||
真空烤盤爐
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