天津電子廠凈化使用潔凈廠房的主要原因是對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來越高该溯。展示一篇專業(yè)的文章給你看看吧：
　　1狈茉、潔凈技術(shù)的誕生 潔凈技術(shù)（cleanroom）是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化掸掸、微型化、高純度堤撵、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)实昨。潔凈室（廣州凈化工程|潔凈室）（cleanroom）這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)盐固，當(dāng)時(shí)的理解*于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置

天津電子廠凈化

使用潔凈廠房的主要原因是對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來越高。展示一篇專業(yè)的文章給你看看吧：

　　1候榨、潔凈技術(shù)的誕生 潔凈技術(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化板蜻、高純度甸垄、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)疤嘴。潔凈室(廣州凈化工程|潔凈室)(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當(dāng)時(shí)的理解*于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室媳厕、手術(shù)室這類滅菌處理 的工作環(huán)境∪毫現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞，但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同氯哮，現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門技術(shù)商佛，其歷史不過只有半個(gè)世紀(jì)良姆。一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展幔戏，都是出于生產(chǎn)的需要闲延，潔凈室技術(shù)也不例外韩玩。在第二次世界大戰(zhàn)期間，美國(guó)生產(chǎn)的飛機(jī)導(dǎo)航用氣浮陀羅儀参七，由于質(zhì)量不穩(wěn)定狱诊，每10個(gè)陀羅儀平均要返工120次猜摹。50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭(zhēng)期間，美國(guó)的16萬臺(tái)電子通訊設(shè)備缭涣，更換了百萬個(gè)以上的電子部件嫁橱，雷達(dá)出故障的時(shí)間占84%环起，潛水艇聲納出故障的時(shí)間占48%娘扩。原因都是電子器件、零部件的可靠性差涮阔，質(zhì)量不穩(wěn)定灰殴。與廠商究其原因牺陶，終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不清潔有關(guān)。盡管當(dāng)時(shí)曾不惜工本，采取了種種嚴(yán)密措施來封閉生產(chǎn)車間怀估，但收效甚微。直到50年代初倒灰，將美國(guó)原子能委員會(huì)為解決對(duì)人體有害的放射性塵埃的捕集問題憎唯，于1951年研制成功的高效空氣過濾器(HEPA—High Efficiency Particulate Air Filter)應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾茬蓝，才真正誕生了具有現(xiàn)代意義的潔凈室。1961年美國(guó)桑第阿國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(Sandia National Laboratories)的高級(jí)研究人員懷特菲爾特(Willis Whitfield)提出了當(dāng)時(shí)稱之為層流(laminar flow)桐夭，現(xiàn)正名為單向流(unidirectional flow)的潔凈空氣流組織方案搅谆，并應(yīng)用于實(shí)際工程阀温。從此潔凈室達(dá)到了*的更高潔凈級(jí)別啡笑。同年美制定頒發(fā)了世界上*個(gè)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)TO—00—25——203指令“潔凈室與潔凈工作臺(tái)的設(shè)計(jì)與運(yùn)轉(zhuǎn)特性標(biāo)準(zhǔn)”黄鳍。在此基礎(chǔ)上框沟，1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個(gè)級(jí)別 的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209忍燥。至此形成了完善的潔凈室技術(shù)的雛形灾前。以上的這三個(gè)關(guān)鍵的進(jìn)步哎甲，常被譽(yù)為現(xiàn)代潔凈室發(fā)展歷*的三個(gè)里程碑炭玫。 上世紀(jì)六二年代中期，潔凈室在美國(guó)如雨后春筍涌現(xiàn)在各種工業(yè)部門翰蛔。它不僅用于軍事工業(yè)痰汰，也在電子凑戏、光學(xué)裆机、微型軸承狼憋、微型電機(jī)、感光膠片缨叫、超純化學(xué)試劑等工業(yè)部門得到推廣耻姥，對(duì)當(dāng)時(shí)科學(xué) 技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用琐簇。七十年代初潔凈室的建設(shè)重點(diǎn)開始轉(zhuǎn)向醫(yī)療婉商、制藥丈秩、食品及生化等行業(yè)蘑秽。除美國(guó)而外肠牲，其它工業(yè)*國(guó)家厌棵，日本醇票、德國(guó)速郑、英國(guó)溜盾、法國(guó)态练、瑞士、前蘇聯(lián)聪僚、荷蘭等也都十分重視并先后大力發(fā)展了潔凈技術(shù)章办。

　∨航臁Ⅱ休偶、中國(guó)潔凈技術(shù)的發(fā)展歷程 六十年代初是中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展的起步階段词顾，大致比國(guó)外晚了十年肉盹。在中國(guó)，那是一個(gè)非常特殊的困難年代琴偿，一方面剛度過三年自然災(zāi)害划葫，經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)薄弱拂极，另一方面與世界科技* 國(guó)家沒有直接交往，得不到必要的科技數(shù)據(jù)陕匿、信息和樣品。在這種艱難條件下验残，圍繞精密機(jī)械、航空儀表和電子工業(yè)的需要氨鹏，中國(guó)的潔凈技術(shù)工作者開始了自己的創(chuàng)業(yè)歷程。依照筆者介入潔凈技術(shù)行業(yè)這三十多年來的個(gè)人體驗(yàn)肢础，把潔凈技術(shù)在中國(guó)發(fā)展的歷程劃分為如下幾個(gè)階段：

　　Ⅱ-1洛续、起步和奠基階段 六十年代初至七十年代末插涛，這十多年是中國(guó)潔凈技術(shù)的起步和奠基階段。 1965年，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的高效空氣過濾器通過鑒定泡徙，標(biāo)志了我國(guó)潔凈技術(shù)開始正式起步。當(dāng)時(shí)所用濾紙有兩種材質(zhì)，一種是藍(lán)石 棉纖維濾紙的GS系列高效空氣過濾器苏章，但因生產(chǎn)過程對(duì)人體健康不利很快被淘汰;另一種是超細(xì)玻璃纖維濾紙的GB系列高效空氣過濾器寂嘉，一直沿用至今硼端。經(jīng)國(guó)內(nèi)多次與國(guó)外同類產(chǎn)品對(duì)比測(cè)試，以及美國(guó)明尼 蘇達(dá)大學(xué)氣溶膠研究所對(duì)中國(guó)高效過濾器濾紙所作測(cè)試的結(jié)果，都證明國(guó)產(chǎn)高效空氣過濾器的主要技術(shù)指標(biāo)，達(dá)到同期標(biāo)準(zhǔn)穴厅。 值得提及的是狠压，盡管日本自50年代末已著手與美國(guó)合作在日本制造高效空氣過濾器相品，潔凈技術(shù)起步較早示婉，但技術(shù)與濾紙來自美國(guó)谆奥，直到1969年日本的HEPA過濾器才*國(guó)化檐蚜。 與此同時(shí)市栗，先后于1963年研制成功濾料鈉焰試驗(yàn)臺(tái)，1964年建成了高效過濾器的鈉焰試驗(yàn)臺(tái)咙好，這時(shí)高效空氣過濾器的正常生產(chǎn)和質(zhì)量提高了保證作用。中國(guó)醫(yī)學(xué)*衛(wèi)生研究所君订、 清華大學(xué)核能所等單位竖拢，為此付出了艱辛的工作。 如果把高效空氣過濾器比喻為潔凈技術(shù)的“心臟”脯丝，那么檢測(cè)技術(shù)及儀器則是潔凈技術(shù)的眼睛材蹬，靠它來鑒別與把關(guān)。六十年代中期整吆，中國(guó)醫(yī)學(xué)*衛(wèi)生研究所尸褪、哈爾濱建工學(xué)院线区、 丹東儀表研究所马窘、中科院安徽光機(jī)所、建研院空調(diào)所等單位先后投入力量研制光散射粒子計(jì)數(shù)器铜殉。1973年寡专，建研院歷時(shí)三年研制成功了中一臺(tái)型號(hào)為J—73型的塵埃粒子計(jì)數(shù)器， 以及標(biāo)定粒子計(jì)數(shù)器用的標(biāo)準(zhǔn)粒子——單分散聚苯乙烯膠乳標(biāo)準(zhǔn)粒子(PSL)郊察，其平均粒徑從0.177~1.460μm茧伍，共九種，標(biāo)準(zhǔn)差很小酷窥，均方根差變系數(shù)σ/χ<5%。J—73型共設(shè)有15 個(gè)粒徑檔糊渊，測(cè)量范圍是0.3~10μm诀汁，采樣流量為300ml/min蜡感。這兩項(xiàng)成果于1974年通過國(guó)家鑒定并認(rèn)為已達(dá)到或接近當(dāng)時(shí)的世界水平。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的推廣應(yīng)用皆墅，推動(dòng)了中國(guó)潔凈 技術(shù)的科研歼捏、設(shè)計(jì)和凈化設(shè)備生產(chǎn)，沿著自立、自強(qiáng)的道路向前進(jìn)步菩貌。 同時(shí)，一些電子技術(shù)重荠、精密機(jī)械和國(guó)防工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)月幌。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機(jī)部四院(現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院) 和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院(現(xiàn)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院)分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級(jí)設(shè)計(jì)建設(shè)的。 *設(shè)計(jì)院1966年選用國(guó)產(chǎn)GB系列高效空氣過濾器設(shè)計(jì)了*面積為760平方米的精密機(jī)械裝配車間，1970年投入生產(chǎn)。后經(jīng)測(cè)定钓株，在靜態(tài)條件下，室內(nèi)換氣次數(shù) 為20AC/h時(shí)，室內(nèi)潔凈度達(dá)到當(dāng)時(shí)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A的10000級(jí)荸哟。 1973年初，四機(jī)部第十設(shè)計(jì)院和第十一設(shè)計(jì)院瞬捕，分別著手進(jìn)行了878廠和4433廠的潔凈車間設(shè)計(jì)鞍历，兩個(gè)工廠的潔凈室級(jí)別包括從FED—STD—209A的100,000級(jí)至100級(jí)，采用的氣流流 型有垂直單向流肪虎、水平單向流和亂流等劣砍。 在這個(gè)階段內(nèi)，與潔凈室配套的凈化設(shè)備陸續(xù)試制成功蚣狠，一些原來生產(chǎn)無線電就肪、半導(dǎo)體設(shè)備的、生產(chǎn)科研的工廠轉(zhuǎn)向凈化設(shè)備的生產(chǎn)号蒙，在國(guó)內(nèi)形成了初步的潔凈室設(shè)備生 產(chǎn)規(guī)模與布局赊设。這些工廠當(dāng)時(shí)主要分布在北京渣先、天津、蘇州未奋、上海和重慶赫淋。從設(shè)計(jì)制造多種型式的潔凈工作臺(tái)(clean bench)開始，隨后陸續(xù)設(shè)計(jì)制造了吹淋室唁底、氣閘室根术、物料傳遞窗泳隶、 余壓閥等相關(guān)設(shè)備他幢。 為了適應(yīng)六十年代末、七十年代初灭大，一些研究機(jī)構(gòu)對(duì)小型潔凈工作環(huán)境的需求订咆，以及一些舊廠房進(jìn)行小規(guī)模潔凈室改造的需要，建研院空調(diào)所柬泽、六機(jī)部九院(現(xiàn)船舶工業(yè)總公司第九設(shè)計(jì)院)慎菲、 三機(jī)部四院、天津科研廠天津醫(yī)藥凈化設(shè)備廠前身)等單位锨并，研制成功了裝配式垂直單向流露该、水平單向流潔凈室。這種由凈化設(shè)備廠生產(chǎn)的裝配式潔凈室第煮，特別在利用原有建筑物進(jìn)行技術(shù)改造解幼， 所需凈化面積又比較小的場(chǎng)合，發(fā)揮了設(shè)計(jì)包警、施工快捷撵摆，技術(shù)性能穩(wěn)定的特點(diǎn)，1974年在天津通過了國(guó)家鑒定害晦。 1974年以來特铝，建研院空調(diào)所、四機(jī)部十院等單位分別建立了潔凈技術(shù)試驗(yàn)室壹瘟，開展了一些基礎(chǔ)研究鲫剿。如建研院空調(diào)所在該所試驗(yàn)室中進(jìn)行了亂流潔凈室均勻分布與不均勻分布計(jì)算 的研究，全頂棚送風(fēng)兩側(cè)下回風(fēng)潔凈室氣流特性的研究等;四機(jī)部第十設(shè)計(jì)研究院在該院的潔凈試驗(yàn)室中進(jìn)行了亂流潔凈室的試驗(yàn)研究宽剪，高效過濾器送風(fēng)口的氣流分布研究锭鸣，人體發(fā)塵 量研究等多項(xiàng)課題。 與此同時(shí)莽烫，一些研究單位及設(shè)計(jì)院瞭谴，如七機(jī)部七院(航天工業(yè)部七院)、建研院空調(diào)所汉渣、四機(jī)部十院册压、十一院匪从、二機(jī)部二院(核工業(yè)部二院)、六機(jī)部九院等捕诲，和一些大專院校如天津 大學(xué)橄妄、同濟(jì)大學(xué)、河北工學(xué)院組成了配合國(guó)家大規(guī)模集成電路攻關(guān)的潔凈室技術(shù)研究協(xié)作組卿裙，為規(guī)范與提高中國(guó)的潔凈技術(shù)水平小赋，進(jìn)行了一系列的測(cè)試與調(diào)研工作。如在北京砍的、西安廓鞠、上海等 地進(jìn)行了不同環(huán)境室外大氣含塵濃度的*臨測(cè)與統(tǒng)計(jì)分析床佳，在全國(guó)各地對(duì)已建潔凈室進(jìn)行了測(cè)試，并著手對(duì)潔凈室設(shè)計(jì)榄审、施工砌们、運(yùn)行及設(shè)備生產(chǎn)方面的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行總結(jié)。 國(guó)外同期潔凈技術(shù)發(fā)展概況大致如下： 六十年代中浪感，美國(guó)的電子、精密機(jī)械等工廠的潔凈室如雨后春筍拷获，對(duì)當(dāng)時(shí)科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用篮撑，同時(shí)開始了將工業(yè)潔凈室技術(shù)(ICR—Industrial Cleanroom)移植 到生物潔凈室(BCR—Biological Cleanroom)的歷程。七十年代初潔凈室的建設(shè)熱潮轉(zhuǎn)向醫(yī)療匆瓜、制藥电伐、食品及生化等行業(yè)跪悼。 1966年在美國(guó)新墨西哥州建成了世界上*個(gè)垂直單向流的生物潔凈技術(shù)室(BCOR—Biological Clean Operating Room)。同年蝠肤，當(dāng)時(shí)的美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)AACC(American Association of Contamination Control吝啰，后并入IEST—Institute of Environmental Science and Technology)驻丁，發(fā)表了“*的設(shè)計(jì)與建造”事矾、“層流潔凈空氣在外科領(lǐng)域的應(yīng)用”等指導(dǎo)性文件甥材。 同年還在美國(guó)明尼蘇達(dá)大學(xué)建成了世界上*個(gè)水平層流的無菌室。1967年在美國(guó)德州的M.D.安德遜病院建成了世界上早的生物潔凈白血病室板鬓。 在英國(guó)，*的整形外科專家恰利(D.J.Charnley)后德，也于1966年建起了稱之為潔凈房(clean house)型式的生物潔凈手術(shù)室瓢湃。1969年在奧地利的里茨建成了歐洲*個(gè)層流病房拔馆， 隨后在瑞士勇剃、德國(guó)先后建成用于醫(yī)療的生物潔凈室。 在日本發(fā)展得更快毫胎，1965年日本國(guó)立公眾衛(wèi)生院建成了采用高效過濾器的生物潔凈室(BCR)用于無菌動(dòng)物(SPF)的飼育室茄焊。1970年在愛知縣職工病院建成了裝配式垂直層流白血病房按辱。 1972年建成了國(guó)立大阪醫(yī)院垂直層流流型無菌手術(shù)室顿肺。至1977年底，病院的生物潔凈室已達(dá)131個(gè)讼昆。 為確保藥品的安全性浸赫、有效性，1964年美國(guó)食品藥品管理局(FDA)開始在美國(guó)實(shí)施“醫(yī)藥品的制造和質(zhì)量管理規(guī)范”运敢，簡(jiǎn)稱GMP(Good Manufacturing Practice)斯身。1969年世界衛(wèi)生組織 (WH0)頒布了GMP，規(guī)定了為保證藥品無菌生產(chǎn)橡宪，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和用水質(zhì)量的要求。生物潔凈室技術(shù)在美照窥、日、西歐等工業(yè)國(guó)家的制藥工業(yè)得到了廣泛應(yīng)用股航。 美國(guó)FDA于1969年頒布了“食品制造標(biāo)準(zhǔn)”，即食品的GMP疆拘，要求在制造和包裝過程中嚴(yán)格控制微生物和溫濕度，以防止食品變質(zhì)哎迄。食品無菌裝罐的潔凈室，當(dāng)時(shí)在歐美迅速得到推廣翔烁。 以美國(guó)為例，1971年無菌裝罐食品總量為25.4億噸旨涝，1980年增長(zhǎng)為132.7億噸蹬屹，其中肉制品增長(zhǎng)幅度近19倍。在食品釀造白华、發(fā)酵工業(yè)對(duì)純種的培養(yǎng)慨默、接種锥酌、擴(kuò)種等工藝也都采用了潔凈室技術(shù)。 以占有七成左右潔凈室市場(chǎng)的電子與半導(dǎo)體工業(yè)而言，七十年代被稱為大規(guī)模集成電路(LSI)時(shí)代馍逗，而八十年代則被稱為超大規(guī)模集成電路(VLSI)時(shí)代帜蘑。集成電路的集成度從1970年 以來弧劳，差不多以每隔2~3年增長(zhǎng)4倍速率飛速發(fā)展壁挖。 七十年代末图呢，64K位RAM作為進(jìn)入超大規(guī)模集成電路階段的標(biāo)志性產(chǎn)品研制過程中，注意到其典型線寬為3μm骗随，需控制的小粒徑為0.3~0.8μm鸿染。也就是說摊鸡，以0.3μm效率為標(biāo)準(zhǔn)的HEPA 過濾器不能適應(yīng)電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展献烦。美國(guó)宿刮、日本相繼研制與制造了對(duì)0.1μm塵粒計(jì)數(shù)過濾效率達(dá)99.99~99.995%的超高效空氣過濾器——ULPA(Ultra low penetration air)過濾器 (亦可譯為“極低穿透率空氣過濾器”)。

　〉ЭⅡ-2免糕、成熟與發(fā)展階段 七十年代末至八十年代末，這十年間忧侧，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽光燦爛的發(fā)展階段堵沈。在中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展歷程中，許多標(biāo)志性的重要成果据篇，幾乎都誕生在這個(gè)階段便晶。

　　1、標(biāo)準(zhǔn)担泥、規(guī)范制定與交往方面： 1979年1月出版了以建研院空調(diào)所為首的設(shè)計(jì)润跟、研究和大專院校等單位對(duì)建成的工業(yè)潔凈室的測(cè)試和總結(jié)經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上編制的“空氣潔凈技術(shù)措施”，起到了規(guī)范與推動(dòng)當(dāng)時(shí)中 國(guó)潔凈室技術(shù)的重要作用谨斥，為日后國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制定奠定了基礎(chǔ)鸡魁。 1984年12月頒發(fā)了以電子部第十設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制的GBJ73-84國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”，其中蛾沪，關(guān)于潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)等同采用了當(dāng)時(shí)上大多數(shù)國(guó)家認(rèn)同 的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B紫声，摒棄了此前在中國(guó)國(guó)內(nèi)曾在不同范圍內(nèi)使用過的多個(gè)借鑒標(biāo)準(zhǔn)而自定的潔凈室分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，為中國(guó)潔凈室技術(shù)與接軌向前邁進(jìn)了一步拗炎。 隨后京甫，結(jié)合中國(guó)國(guó)情，參考標(biāo)準(zhǔn)先后制定了GB6166-85高效濾料性能實(shí)驗(yàn)方法李根、穿透率和阻力槽奕，GB6167-85塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法，GB6168-85層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) 等多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)房轿，對(duì)統(tǒng)一與規(guī)范試驗(yàn)粤攒、測(cè)定方法，增強(qiáng)科學(xué)性起了很大作用冀续。 值得一提的是1988年11月定稿的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB12218-89“一般通風(fēng)用空氣過濾器性能試驗(yàn)方法”中規(guī)定采用大氣塵的限徑計(jì)數(shù)效率法來測(cè)定粗琼讽、中、高中效空氣過濾器的效率，這是以 天津大學(xué)為代表的國(guó)內(nèi)各研究單位多年實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)钻蹬，在世界上*采用此方法吼蚁。1993年歐洲通風(fēng)協(xié)會(huì)(ASHRAE)先后放棄了原有的大氣塵比色效率法(NBS、AFI问欠、ASHRAE)的計(jì)重效率 法肝匆，同時(shí)頒布采用大氣塵或標(biāo)準(zhǔn)塵的計(jì)徑計(jì)數(shù)法。 特別是1982年6月成立了中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)(對(duì)外的名稱是“中國(guó)污染控制協(xié)會(huì)”CCCS—Chinese Contamination Control Society)顺献，并創(chuàng)辦了“潔凈技術(shù)”雜志(現(xiàn)名為 “潔凈與空調(diào)技術(shù)”—Contamination Control & Air-conditioning Technology)旗国，于1983年正式發(fā)刊，在整合國(guó)內(nèi)潔凈室技術(shù)的各方面力量灭西，推動(dòng)潔凈室技術(shù)進(jìn)步以及在交流方面 起了很大促進(jìn)作用蝉速。1986年中國(guó)潔凈技術(shù)學(xué)會(huì)成國(guó)污染控制學(xué)會(huì)聯(lián)盟ICCCS(International Confederation of Contamination Control Society)的成員。當(dāng)時(shí)的成員國(guó)僅有美(IEST)弹爱、 英(SEE)牍侧、法(ASPES)、德(DIN/VDI)扬骑、日(JACA)座叙、意(ASCCA)、瑞士(SRRT)及北歐四國(guó)(R3-Nodic)等涎舞。(現(xiàn)增加至18個(gè)成員國(guó)契叔，有澳—ACCS、俄—ASEMCO栗怪、比—BCW麸应、韓—KACA、 羅馬尼亞—RACC娘瞻、巴西—SBCC码日、荷—VCCN、蘇格蘭—SZCZ)视搏。 1998年第九屆ICCCS洛杉磯會(huì)議、1990年第十屆ICCCS蘇黎士會(huì)議县袱，筆者代表中國(guó)應(yīng)約出任了大會(huì)執(zhí)行主席浑娜。

　　2、生物潔凈室技術(shù)方面： 生物潔凈室技術(shù)在中國(guó)的起步式散，較國(guó)外晚了十多年筋遭。七十年代末，一些制藥廠對(duì)原有空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行了改造暴拄，開始采用高效空氣過濾器作為空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)的末端漓滔，以代替原有的過濾 器或甘油紗布罩等。上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院、哈爾濱建工學(xué)院及有關(guān)制藥廠等單位在此時(shí)期先后在上海第四响驴、第七制藥廠透且、鎮(zhèn)江制藥廠采用了生物潔凈室技術(shù)。 1982年中國(guó)制藥工業(yè)公司依據(jù)國(guó)情與國(guó)外經(jīng)驗(yàn)制定了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范”(試行稿)豁鲤，其中空氣潔凈度級(jí)別參考美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A秽誊，將生產(chǎn)環(huán)境分為大于100,000級(jí)及100,000級(jí)的控制區(qū) 和10,000級(jí)及局部100級(jí)的潔凈區(qū)。至1985年底又匯編了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范實(shí)施指南”跟斜，連同經(jīng)過部分修改后的“規(guī)范”一并正式頒布低案，為推動(dòng)制藥工業(yè)的現(xiàn)代化奠定了基礎(chǔ)。1988年衛(wèi)生部頒 發(fā)了“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”绪论，其精神與前述規(guī)范*辕憋，為在制藥行業(yè)推行GMP認(rèn)證準(zhǔn)備了條件。 在此階段生物潔凈室在醫(yī)療方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用卷俱。1980年由哈爾濱建工學(xué)院與雞西無專共同研制的簡(jiǎn)易型水平層流空調(diào)凈化機(jī)組用于黑龍江醫(yī)院;由六機(jī)部九院與上海金山電子設(shè)備 廠合作完成的裝配式無菌病室用于上海新華醫(yī)院細(xì)胞研究室寒焚、蘇州醫(yī)學(xué)院。 八十年代中肿犁，總后營(yíng)房部設(shè)計(jì)院湘志、天津大學(xué)等設(shè)計(jì)建成了有各種氣流型式、相當(dāng)于美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NASA-5340Ⅱ的百級(jí)至萬級(jí)的十多間土建式無菌手術(shù)室的301醫(yī)院康復(fù)中心手術(shù)樓整空。 天津大學(xué)羽抒、天津凈化設(shè)備廠設(shè)計(jì)建成了中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)研究院血研所多間百級(jí)組裝式無菌病室。 八十年代初偶凝、軍事醫(yī)學(xué)*蝶锋、建研院空調(diào)所、蚌埠凈化設(shè)備廠等單位研制完成了Ⅱ-*(相當(dāng)于P3級(jí))生物安全柜(Biohazard work station)的研制;哈爾濱建工學(xué)院等單位 完成了松江罐頭廠的甜炬乳什往、西紅柿醬和培根的無菌裝罐室扳缕，開創(chuàng)了生物安全和食品加工生物技術(shù)在中國(guó)的應(yīng)用。 在1985年前后别威，軍事醫(yī)學(xué)研究院研制的JWL針孔式浮游細(xì)菌采樣器和上海整新電子設(shè)備廠躯舔、同濟(jì)大學(xué)合作研制的SS縫隙式空氣浮游細(xì)菌采樣器通過鑒定，為生物潔凈室技術(shù)的某些 研究工作提供了手段省古。

　　3粥庄、基礎(chǔ)與技術(shù)研究方面： 在七十年代末至八十年代末這10年中，在潔凈室的基礎(chǔ)和技術(shù)研究方面也取得了眾多成績(jī)豺妓，如： 提出了中國(guó)大氣塵的統(tǒng)計(jì)規(guī)律惜互、濕度對(duì)大氣塵濃度的作用、“W”型大氣塵濃度日分布模型琳拭，為確定室外設(shè)計(jì)濃度提供了依據(jù); 提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果训堆、設(shè)計(jì)原理與計(jì)算方法; 提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計(jì)算公式描验、經(jīng)驗(yàn)計(jì)算公式，以及自凈時(shí)間坑鱼、污染時(shí)間的計(jì)算式; 提出了單向流潔凈室下側(cè)回風(fēng)方式的大室寬帘染、計(jì)算模型以及下限風(fēng)速的概念及數(shù)據(jù); 提出了高效空氣過濾器封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封原理和方案，倒置式液槽密封方案; 進(jìn)行了人體發(fā)菌量的測(cè)試與分析; 建立了濾材脯阔、濾器的細(xì)菌過濾效率測(cè)試臺(tái)夏捣，得到了對(duì)大氣塵菌源的濾菌效率與計(jì)數(shù)、計(jì)重效率的相關(guān)關(guān)系摇值。中國(guó)建筑科學(xué)研究院贵筹、四機(jī)部十院、十一院等科研院所茫步、設(shè)計(jì)院翼毡、天津大學(xué)、清華大學(xué)拿豺、同濟(jì)大學(xué)既感、哈爾濱建筑工程學(xué)院、 河北工學(xué)院等院校對(duì)此做了較多的工作咱缭。

　　4挂悲、在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面： 1979年至1981年，天津大學(xué)俊戳、天津美綸纖維廠等單位通過對(duì)多種材質(zhì)(滌綸揖赴、丙綸、維綸抑胎、棉燥滑、毛、超細(xì)玻纖……)阿逃、多 種工藝針刺铭拧、噴膠、熱熔恃锉、熔噴搀菩、熱壓、羅拉)的幾百個(gè)品種破托、規(guī)格濾料系列研究秕磷，篩選并設(shè)計(jì)定型了TL—Z、TL—C系列具有線 徑梯度炼团、密度梯度和材質(zhì)、工藝復(fù)合型的無織布濾材疏尿，部分替代了當(dāng)時(shí)美存妇、法、日等國(guó)引進(jìn)的從粗效至亞高效過濾材料，為國(guó)家節(jié)約 了大批外匯唉奇。 1981年灯烤，由四機(jī)部十一院、河北工學(xué)院闻街、天津第二無線電設(shè)備廠研制成功WGP—01型無隔板高效空氣過濾器(mini pleat HEPA filter), *了國(guó)內(nèi)產(chǎn)品空白欧蠢。 1985年，四機(jī)部十一院架讳、四川造紙工業(yè)研究所榴烦、重慶無線電設(shè)備廠共同完成了CGB型高效空氣過濾器的研制，該過濾器對(duì)0.1μm 塵粒的計(jì)數(shù)效率為99.99~99.995%文饱，阻力為245~270Pa绝壹，經(jīng)鑒定認(rèn)為其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到當(dāng)時(shí)日本生產(chǎn)的ULPA高效空氣過濾器同類產(chǎn)品的 技術(shù)水平。1987年1月融吓，天津醫(yī)藥凈化設(shè)備廠和建研院空調(diào)所研制的判阀、采用國(guó)外ULPA過濾器(日本忍足株式會(huì)社產(chǎn)品)的0.1μm10級(jí)潔凈室 通過鑒定。1988年5月機(jī)電部第十一設(shè)計(jì)院和重慶無線電設(shè)備廠采用國(guó)產(chǎn)0.1μm高效空氣過濾器的0.1μm10級(jí)潔凈室通過鑒定箩绍，其主要 指標(biāo)達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平孔庭。 同期，國(guó)外潔凈室技術(shù)持續(xù)材蛛、穩(wěn)定發(fā)展與進(jìn)步圆到。 1982年每芯片上約有5~6萬個(gè)器件的16K位隨機(jī)存儲(chǔ)器(RAM)已成品。1984年256K位RAM已進(jìn)入實(shí)用階段仰税。同年初日本宣布每芯片設(shè)置 有約200萬個(gè)器件的一兆位DRAM(Dynamic Random Access Memory—動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)試制成功构资。1985年美國(guó)研制完成4兆位的集成 電路。至八十年代末4M位的DRAM已商品化陨簇。 各種降低能耗吐绵，配合工藝過程自動(dòng)化與高潔凈度要求的潔凈室氣流組織方案及技術(shù)在此階段也陸續(xù)誕生，如隧道式潔凈室(tunnel type cleanroom)河绽、 潔凈管道(duct type cleanroom)以及SMIF(standard mechanical interface—標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)技術(shù)等己单。 從八十年代中期以來，以于微電子行業(yè)來說耙饰，1976年4月24日所頒發(fā)的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B所規(guī)定的凈級(jí)別—100級(jí)(≥0.5μm纹笼，≯100pc./cu.ft) 已不能滿足需要，1M位的DRAM的線寬僅為1μm卫殷，要求環(huán)境級(jí)別為10級(jí)(0.5μm)炫允。事實(shí)上，從七十年代末嗡沈，配合微電子技術(shù)的發(fā)展睛村，更高級(jí)別的潔凈室 已在美绎编、日陸續(xù)建成，相應(yīng)的檢測(cè)儀器—激光粒子計(jì)數(shù)器川骗、凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(CNC)—也應(yīng)運(yùn)而生演穗。總結(jié)這個(gè)時(shí)期的經(jīng)驗(yàn)和適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步的需要伍恼，于是 1987年10月27日頒發(fā)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C垛墙，將潔凈等級(jí)從原有的100至100,000四個(gè)等級(jí)擴(kuò)展為1至100,000六個(gè)級(jí)別，并將鑒別級(jí)別界限的粒徑從0.5μm~5μm 擴(kuò)展至0.1μm~5μm. Ⅱ-3羡雷、與全國(guó)接軌携喳，走向規(guī)范化 九十年代初至今，在電子技術(shù)持續(xù)飛速發(fā)展的推動(dòng)下在竹，潔凈技術(shù)不斷前進(jìn)添瓷，下表給出了上大規(guī)模集成電路的工藝及國(guó)內(nèi)的代表產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程。 1992年9月11日頒布的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E更進(jìn)一步取代1988年6月15日頒布的FED—STD—209D值纱，將潔凈等級(jí)從英制改為米制鳞贷，潔凈度等級(jí)分為 M1至M7七個(gè)級(jí)別。與209D相比虐唠，別又向上延伸了半個(gè)級(jí)別(209D的1級(jí)空氣中≥0.5μm塵敛罄ⅲ≯35.3pc./m3，而209E的M1級(jí)≥0.5μm塵两ィ≯10pc./m3)咱筛。 三十多年來，美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209杆故，一直是世界各國(guó)潔凈技術(shù)行業(yè)*的標(biāo)準(zhǔn)迅箩。美國(guó)總服務(wù)局(GSA—U.S.General Services Administration)，也就是批準(zhǔn) 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)供聯(lián)邦政府各機(jī)構(gòu)使用的單位处铛，于2001年11月29日發(fā)布公告饲趋，廢止FED—STD—209E，等同采用ISO—14644相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)撤蟆。這個(gè)決定標(biāo)志著潔凈技術(shù) 隨同世界經(jīng)濟(jì)一體化進(jìn)一步走向大同奕塑。 表一 九十年代初至今，中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)登凿，投資持續(xù)注入搭吵，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠。因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有 更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外高級(jí)別潔凈室的設(shè)計(jì)理今隘匙，了解世界的*設(shè)備和裝置棒论、管理與維護(hù)等等。從這方面來看恕臣，的確從各個(gè)角度與日益接軌蹬谁。 中國(guó)也投入了大批財(cái)力發(fā)展微電子技術(shù)扔缭。在這階段中先后建成了首鋼日電公司、華晶電子集團(tuán)公司癞烈、上海華虹NEC電子公司、紹興華越微電子公司膀钝、以及天津 MOTOROLA公司堕常、上海貝嶺微電子公司等，但總起來說微電子技術(shù)與*生產(chǎn)水平特別是研發(fā)水平上仍有相當(dāng)大的差距萎煤。 九十年代初以來缤弦，潔凈技術(shù)在制藥工廠貫徹實(shí)施GMP法過程中得到了普及，全國(guó)幾千家制藥廠以及生產(chǎn)藥用原材料彻磁、包裝材料等非藥企業(yè)碍沐，陸續(xù)進(jìn)行了技術(shù) 改造。其規(guī)模之大衷蜓、范圍之寬都是*的累提。1992年中國(guó)制藥工業(yè)公司、中國(guó)化學(xué)制藥工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)1985年頒發(fā)的“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范(GMP)實(shí)施指南”進(jìn)行了修訂磁浇， 頒發(fā)了新的實(shí)施指南斋陪。隨后在1998年頒發(fā)了理一步與接軌的、由國(guó)家藥品*組織修訂的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”置吓，即中國(guó)1998GMP(1999年8月1日起實(shí)施)无虚， 為加大GMP的推行力度、在制藥全行業(yè)實(shí)施認(rèn)證體制進(jìn)一步奠定了基礎(chǔ)衍锚。九十年代初以來友题，醫(yī)院無菌手術(shù)室的建設(shè)受到各方面的關(guān)注，陸續(xù)在各大城市建起了上千間 十萬級(jí)至百級(jí)不同級(jí)別的生物潔凈手術(shù)室戴质、生物潔凈病室及實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房面镣。 概括這十年來國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)行業(yè)的歷程，依筆者個(gè)人的看法是喜憂參半耀奠。值得欣慰的是册吹，潔凈室技術(shù)行業(yè)在許多方面日益與接軌，反映在相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容用堤、潔凈室設(shè)計(jì)思路與方案馒狡、 施工技術(shù)與管理、檢測(cè)手段與技術(shù)等等方面萌烁。如反映在中國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)修定中煮肋，2001年11月13日發(fā)布的GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”(Code for Design of Clean Room)， 在空氣潔凈度等級(jí)劃分上绎儡，明確等效采用標(biāo)準(zhǔn)ISO14611-1响友，就是一個(gè)很好的例證详不。依靠制藥工業(yè)與普通電子裝配業(yè)，以及醫(yī)療衛(wèi)生扳辉、食品妖救、化妝品業(yè)的帶動(dòng)，潔凈室技術(shù)得到*的普及粒梦。 但這些行業(yè)基本上都是ISO5或中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)N5(相當(dāng)于原聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E的100級(jí))及以下級(jí)別的潔凈室亮航，所采用的主要設(shè)備器材如高效及各級(jí)過濾器、吹淋室匀们、凈化工作臺(tái)缴淋，空調(diào)制冷機(jī) 組以及金屬壁板、地面復(fù)合材料等泄朴，基本上都是國(guó)內(nèi)生產(chǎn)制造的重抖。因此從七十年代*的、主要集中在京津地區(qū)祖灰、上海地區(qū)的十幾家;八十年代末的百余家潔凈室設(shè)備生產(chǎn)廠钟沛、施工安裝單位， 發(fā)展到現(xiàn)在幾乎遍布全國(guó)各省市的上千家潔凈室相關(guān)設(shè)備夫植、器材生產(chǎn)制造廠讹剔、施工安裝單位，和一批積累了相當(dāng)豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計(jì)單位详民、調(diào)試檢測(cè)單位延欠。 全國(guó)處于運(yùn)行狀態(tài)的各種級(jí)別的潔凈室面積，據(jù)不*統(tǒng)計(jì)和測(cè)算却师，從八十年代初10多萬平方米猛增到200多萬平方米禽虹。某些微電子廠生產(chǎn)車間的潔凈級(jí)別達(dá)到了0.1微米1級(jí) 的高水平。在潔凈空氣流流型理論計(jì)算與試驗(yàn)研究方面程押，哈爾濱建工學(xué)院赌置、天津大學(xué)、建研院空調(diào)所等單位果派，采用數(shù)值仿真方法蓝捌，利用CFD(computational fluid dynamics)與試驗(yàn)驗(yàn)證相結(jié)合的方法， 開展了矢流流型蟀披、普通潔凈室高效過濾器風(fēng)口布置方案與潔凈效果等方面的研究饵朱，并參加了歷屆ICCCS學(xué)術(shù)交流會(huì)，在上發(fā)表了一批研究論文巫碍。 天津大學(xué)等單位參加了MOTOROLA椰完、SAE、KODA、CTS不同潔凈級(jí)別的辨批、由國(guó)外設(shè)計(jì)怔匣、采用國(guó)外設(shè)備器材、施工管理技術(shù)建造的潔凈室的系統(tǒng)調(diào)試與檢測(cè)桦沉、驗(yàn)收每瞒。較深入地理解、 掌握了國(guó)外微電子高級(jí)別潔凈室纯露、制藥工業(yè)潔凈室的設(shè)計(jì)要點(diǎn)独泞、技術(shù)關(guān)鍵，以及調(diào)試驗(yàn)收技術(shù)及相應(yīng)規(guī)范苔埋，與美國(guó)FDA、NEBB蜒犯、IEST组橄，日本的JACA等建立了廣泛的。 特別值得提出的是罚随，在新一屆中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)的積極努力下玉工，中國(guó)申辦第18屆污染控制學(xué)術(shù)會(huì)議(2006年)獲得成功，這是自1972年ICCCS創(chuàng)建以來*在華舉辦這樣的盛會(huì)淘菩， 將對(duì)中國(guó)的潔凈技術(shù)進(jìn)步起到重要推動(dòng)作用遵班。

　　以上這些都是中國(guó)潔凈技術(shù)繼續(xù)發(fā)展的有利條件與因素，令人遺憾或者值得關(guān)注改進(jìn)的方面茧音，筆者認(rèn)為有以下方面：

　　1有蒲、引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)、設(shè)備盘嘉、器材的同時(shí)冈柑，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品的研究，開發(fā)的力度不夠蹲京，技術(shù)進(jìn)步緩慢衔密。 典型的是一些消耗性器材，如粗蚊牌、中效空氣過濾器找蝗，盡管技含量并不高，但由于濾材生產(chǎn)廠沒有*的設(shè)備诀虹、嚴(yán)格要求的工藝以保證濾材性能穩(wěn)定和質(zhì)量不斷改進(jìn)渊输，并隆低價(jià)格;濾器制造廠 沒有裝置與接軌的檢測(cè)系統(tǒng)，不能向用戶提供過濾器完整與可靠的性能數(shù)據(jù)记令。因此喷聪，還有相當(dāng)一部分合資、獨(dú)資微電子企業(yè)咆瘟，不但ULPA嚼隘、HEPA空氣過濾器由國(guó)外進(jìn)口诽里，甚至消耗量相當(dāng)大的粗、中效空氣過濾器也 依慣例由國(guó)外進(jìn)口飞蛹。 還有一些用量很大的設(shè)備與器材谤狡，如FFU機(jī)組、鋁蜂窩夾心壁板卧檐、鋁合金架空地板墓懂、防靜電地面卷材等，雖然國(guó)內(nèi)也有一些替代品或相近的產(chǎn)品霉囚，但總起來看捕仔，質(zhì)量和性能與*進(jìn)產(chǎn)品還有較大距離∮蓿空調(diào)凈化自動(dòng)控制系統(tǒng)的一些重要配件也難于與國(guó)外產(chǎn)品相提并論榜跌，如電動(dòng)風(fēng)閥的氣密性、調(diào)節(jié)特性及靈敏度等盅粪。 檢測(cè)儀器的質(zhì)量與技術(shù)性能和PMS邪胳、TSI等產(chǎn)品更是存在短時(shí)期難于逾越的差距，甚至與某些國(guó)外一般性產(chǎn)品像得，如MET ONE等肪尾，也在性能、質(zhì)量轨醒、外觀等方面存在較大的差距催蓄。國(guó)產(chǎn)的塵粒計(jì)數(shù)器多年來幾乎止步不前，生產(chǎn)廠家不少邪慧，質(zhì)量提高不多验阱。而國(guó)產(chǎn)浮游微生物取樣器性能、質(zhì)量的穩(wěn)定性就更不理想秆尝。

　　2降蹋、基礎(chǔ)研究停滯 由于機(jī)制變革，一些重要研究機(jī)構(gòu)挎中，難于獲得研究課題的專項(xiàng)資助睹沐，院校也同樣存在研究經(jīng)費(fèi)緊缺，很難持續(xù)與專注地對(duì)一些理論與應(yīng)用技術(shù)進(jìn)行研究磁滚。因此佛吓，這些年來在潔凈技術(shù)方面的研究工作相對(duì)沉寂、 停滯垂攘，成果不多维雇。

　　3、交流尚待深入 盡管改革開放以來，交往日益頻繁吱型，通過中國(guó)潔凈技術(shù)學(xué)會(huì)九十年代以來舉辦的幾屆潔凈設(shè)備展覽與學(xué)術(shù)交流活動(dòng)逸贾，加深了與國(guó)外潔凈技術(shù)行業(yè)的系，特別是與國(guó)外潔凈室產(chǎn)業(yè)界的交往津滞。但與國(guó)外研究 機(jī)構(gòu)铝侵、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的立法機(jī)構(gòu)、*的相關(guān)機(jī)構(gòu)如FDA触徐、IEST等交往較少咪鲜，更少協(xié)作，這就很不利于我們與研究進(jìn)程同步撞鹉，不利于中國(guó)與同行在基礎(chǔ)理論研究與技術(shù)更新以及規(guī)范制定等方面深入交流疟丙，以提高我們自身的研發(fā)能力，逐步創(chuàng)建有地域特色的潔凈技術(shù)體系藻礁。 總之瀑捣，今后要做的事情很多，我們應(yīng)該認(rèn)清面臨的形勢(shì)秉返。今天我們面對(duì)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，同時(shí)又有*的機(jī)遇和條件钳舵。一些在潔凈技術(shù)領(lǐng)域造詣很高的*的華裔學(xué)者螺坟，如明尼蘇達(dá)大學(xué)氣溶膠研究所的劉揚(yáng)輝教授等，他們 都十分關(guān)心中國(guó)的研究工作;海峽兩岸學(xué)人邓樟、企業(yè)家在潔凈室技術(shù)方面各有所長(zhǎng)缸秀。充分調(diào)動(dòng)這些積極因素，是能夠促使中國(guó)的潔凈技術(shù)在新世紀(jì)更上一層樓的役默。

　　主要參考數(shù)據(jù)：

　　1唯碗、電子工業(yè)歷史數(shù)據(jù) 電子設(shè)備冊(cè)凈化設(shè)備分冊(cè).機(jī)電部第十設(shè)計(jì)院主編.

　　2、潔凈室技術(shù)講義(天津大學(xué) 涂光備 碩士博士課程)

　　3冤牢、制藥工業(yè)的潔凈與空調(diào) 涂光備 中國(guó)建筑工業(yè)出版社 1998年12月 涂光備铐向，男，1937.1出生丙者，1960年畢業(yè)于清華大學(xué)土建系暖通空調(diào)專業(yè)「闯猓現(xiàn)任天津大學(xué)環(huán)境科學(xué)與工程學(xué)院建筑環(huán)境與設(shè)備系教授、博導(dǎo)

 

天津電子廠凈化

使用潔凈廠房的主要原因是對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來越高械媒。展示一篇專業(yè)的文章給你看看吧：

　　1目锭、潔凈技術(shù)的誕生 潔凈技術(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化纷捞、高純度痢虹、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。潔凈室(廣州凈化工程|潔凈室)(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當(dāng)時(shí)的理解*于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室奖唯、手術(shù)室這類滅菌處理 的工作環(huán)境〔依拢現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞，但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同臭埋，現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門技術(shù)踪央，其歷史不過只有半個(gè)世紀(jì)。一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展瓢阴，都是出于生產(chǎn)的需要畅蹂，潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰(zhàn)期間狐兴，美國(guó)生產(chǎn)的飛機(jī)導(dǎo)航用氣浮陀羅儀血沦，由于質(zhì)量不穩(wěn)定，每10個(gè)陀羅儀平均要返工120次伦捐。50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭(zhēng)期間野言，美國(guó)的16萬臺(tái)電子通訊設(shè)備，更換了百萬個(gè)以上的電子部件孟庵，雷達(dá)出故障的時(shí)間占84%近窟，潛水艇聲納出故障的時(shí)間占48%。原因都是電子器件补蠢、零部件的可靠性差伦颊，質(zhì)量不穩(wěn)定。與廠商究其原因姜架，終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不清潔有關(guān)青弃。盡管當(dāng)時(shí)曾不惜工本，采取了種種嚴(yán)密措施來封閉生產(chǎn)車間隙譬，但收效甚微卖氨。直到50年代初，將美國(guó)原子能委員會(huì)為解決對(duì)人體有害的放射性塵埃的捕集問題负懦，于1951年研制成功的高效空氣過濾器(HEPA—High Efficiency Particulate Air Filter)應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾筒捺，才真正誕生了具有現(xiàn)代意義的潔凈室。1961年美國(guó)桑第阿國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(Sandia National Laboratories)的高級(jí)研究人員懷特菲爾特(Willis Whitfield)提出了當(dāng)時(shí)稱之為層流(laminar flow)纸厉，現(xiàn)正名為單向流(unidirectional flow)的潔凈空氣流組織方案焙矛，并應(yīng)用于實(shí)際工程。從此潔凈室達(dá)到了*的更高潔凈級(jí)別残腌。同年美制定頒發(fā)了世界上*個(gè)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)TO—00—25——203指令“潔凈室與潔凈工作臺(tái)的設(shè)計(jì)與運(yùn)轉(zhuǎn)特性標(biāo)準(zhǔn)”村斟。在此基礎(chǔ)上，1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個(gè)級(jí)別 的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209抛猫。至此形成了完善的潔凈室技術(shù)的雛形蟆盹。以上的這三個(gè)關(guān)鍵的進(jìn)步孩灯，常被譽(yù)為現(xiàn)代潔凈室發(fā)展歷*的三個(gè)里程碑。 上世紀(jì)六二年代中期逾滥，潔凈室在美國(guó)如雨后春筍涌現(xiàn)在各種工業(yè)部門峰档。它不僅用于軍事工業(yè)，也在電子寨昙、光學(xué)步蛮、微型軸承、微型電機(jī)殉扒、感光膠片西寸、超純化學(xué)試劑等工業(yè)部門得到推廣，對(duì)當(dāng)時(shí)科學(xué) 技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用缕粗。七十年代初潔凈室的建設(shè)重點(diǎn)開始轉(zhuǎn)向醫(yī)療枢慰、制藥、食品及生化等行業(yè)侧蜗。除美國(guó)而外艾维，其它工業(yè)*國(guó)家，日本杉朝、德國(guó)赠戏、英國(guó)、法國(guó)羹圣、瑞士匙豹、前蘇聯(lián)、荷蘭等也都十分重視并先后大力發(fā)展了潔凈技術(shù)狂秦。

　　Ⅱ推捐、中國(guó)潔凈技術(shù)的發(fā)展歷程 六十年代初是中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展的起步階段裂问，大致比國(guó)外晚了十年。在中國(guó)牛柒，那是一個(gè)非常特殊的困難年代堪簿，一方面剛度過三年自然災(zāi)害，經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)薄弱皮壁，另一方面與世界科技* 國(guó)家沒有直接交往椭更，得不到必要的科技數(shù)據(jù)、信息和樣品蛾魄。在這種艱難條件下虑瀑，圍繞精密機(jī)械、航空儀表和電子工業(yè)的需要滴须，中國(guó)的潔凈技術(shù)工作者開始了自己的創(chuàng)業(yè)歷程舌狗。依照筆者介入潔凈技術(shù)行業(yè)這三十多年來的個(gè)人體驗(yàn)叽奥，把潔凈技術(shù)在中國(guó)發(fā)展的歷程劃分為如下幾個(gè)階段：

　　Ⅱ-1痛侍、起步和奠基階段 六十年代初至七十年代末塘袍，這十多年是中國(guó)潔凈技術(shù)的起步和奠基階段。 1965年葱山，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的高效空氣過濾器通過鑒定绑接，標(biāo)志了我國(guó)潔凈技術(shù)開始正式起步。當(dāng)時(shí)所用濾紙有兩種材質(zhì)近陈，一種是藍(lán)石 棉纖維濾紙的GS系列高效空氣過濾器柑汇，但因生產(chǎn)過程對(duì)人體健康不利很快被淘汰;另一種是超細(xì)玻璃纖維濾紙的GB系列高效空氣過濾器，一直沿用至今赘眼。經(jīng)國(guó)內(nèi)多次與國(guó)外同類產(chǎn)品對(duì)比測(cè)試晌爹，以及美國(guó)明尼 蘇達(dá)大學(xué)氣溶膠研究所對(duì)中國(guó)高效過濾器濾紙所作測(cè)試的結(jié)果，都證明國(guó)產(chǎn)高效空氣過濾器的主要技術(shù)指標(biāo)发钞，達(dá)到同期標(biāo)準(zhǔn)肖自。 值得提及的是，盡管日本自50年代末已著手與美國(guó)合作在日本制造高效空氣過濾器鞋倔，潔凈技術(shù)起步較早老玲，但技術(shù)與濾紙來自美國(guó)，直到1969年日本的HEPA過濾器才*國(guó)化除呵。 與此同時(shí)再菊，先后于1963年研制成功濾料鈉焰試驗(yàn)臺(tái)，1964年建成了高效過濾器的鈉焰試驗(yàn)臺(tái)颜曾，這時(shí)高效空氣過濾器的正常生產(chǎn)和質(zhì)量提高了保證作用纠拔。中國(guó)醫(yī)學(xué)*衛(wèi)生研究所、 清華大學(xué)核能所等單位泛豪，為此付出了艱辛的工作稠诲。 如果把高效空氣過濾器比喻為潔凈技術(shù)的“心臟”，那么檢測(cè)技術(shù)及儀器則是潔凈技術(shù)的眼睛诡曙，靠它來鑒別與把關(guān)臀叙。六十年代中期，中國(guó)醫(yī)學(xué)*衛(wèi)生研究所价卤、哈爾濱建工學(xué)院劝萤、 丹東儀表研究所、中科院安徽光機(jī)所慎璧、建研院空調(diào)所等單位先后投入力量研制光散射粒子計(jì)數(shù)器床嫌。1973年，建研院歷時(shí)三年研制成功了中一臺(tái)型號(hào)為J—73型的塵埃粒子計(jì)數(shù)器要捐， 以及標(biāo)定粒子計(jì)數(shù)器用的標(biāo)準(zhǔn)粒子——單分散聚苯乙烯膠乳標(biāo)準(zhǔn)粒子(PSL)壹事，其平均粒徑從0.177~1.460μm罕识，共九種，標(biāo)準(zhǔn)差很小责什，均方根差變系數(shù)σ/χ<5%舒脐。J—73型共設(shè)有15 個(gè)粒徑檔，測(cè)量范圍是0.3~10μm颓涉，采樣流量為300ml/min侨识。這兩項(xiàng)成果于1974年通過國(guó)家鑒定并認(rèn)為已達(dá)到或接近當(dāng)時(shí)的世界水平。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的推廣應(yīng)用厅驼，推動(dòng)了中國(guó)潔凈 技術(shù)的科研骄熟、設(shè)計(jì)和凈化設(shè)備生產(chǎn)，沿著自立华孙、自強(qiáng)的道路向前進(jìn)步宦狭。 同時(shí)，一些電子技術(shù)海槐、精密機(jī)械和國(guó)防工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院乘碑，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)金拒。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機(jī)部四院(現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院) 和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院(現(xiàn)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院)分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級(jí)設(shè)計(jì)建設(shè)的兽肤。 *設(shè)計(jì)院1966年選用國(guó)產(chǎn)GB系列高效空氣過濾器設(shè)計(jì)了*面積為760平方米的精密機(jī)械裝配車間，1970年投入生產(chǎn)绪抛。后經(jīng)測(cè)定资铡，在靜態(tài)條件下，室內(nèi)換氣次數(shù) 為20AC/h時(shí)幢码，室內(nèi)潔凈度達(dá)到當(dāng)時(shí)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A的10000級(jí)笤休。 1973年初，四機(jī)部第十設(shè)計(jì)院和第十一設(shè)計(jì)院症副，分別著手進(jìn)行了878廠和4433廠的潔凈車間設(shè)計(jì)店雅，兩個(gè)工廠的潔凈室級(jí)別包括從FED—STD—209A的100,000級(jí)至100級(jí)，采用的氣流流 型有垂直單向流瓦糕、水平單向流和亂流等。 在這個(gè)階段內(nèi)腋么，與潔凈室配套的凈化設(shè)備陸續(xù)試制成功咕娄，一些原來生產(chǎn)無線電、半導(dǎo)體設(shè)備的贺跟、生產(chǎn)科研的工廠轉(zhuǎn)向凈化設(shè)備的生產(chǎn)柏咳，在國(guó)內(nèi)形成了初步的潔凈室設(shè)備生 產(chǎn)規(guī)模與布局。這些工廠當(dāng)時(shí)主要分布在北京简骗、天津柄倒、蘇州蚜雏、上海和重慶。從設(shè)計(jì)制造多種型式的潔凈工作臺(tái)(clean bench)開始靡抓，隨后陸續(xù)設(shè)計(jì)制造了吹淋室附柜、氣閘室、物料傳遞窗簿混、 余壓閥等相關(guān)設(shè)備僚料。 為了適應(yīng)六十年代末、七十年代初烁枣，一些研究機(jī)構(gòu)對(duì)小型潔凈工作環(huán)境的需求毡飒，以及一些舊廠房進(jìn)行小規(guī)模潔凈室改造的需要，建研院空調(diào)所隶鹰、六機(jī)部九院(現(xiàn)船舶工業(yè)總公司第九設(shè)計(jì)院)痪寻、 三機(jī)部四院、天津科研廠天津醫(yī)藥凈化設(shè)備廠前身)等單位虽惭，研制成功了裝配式垂直單向流橡类、水平單向流潔凈室。這種由凈化設(shè)備廠生產(chǎn)的裝配式潔凈室趟妥，特別在利用原有建筑物進(jìn)行技術(shù)改造猫态， 所需凈化面積又比較小的場(chǎng)合，發(fā)揮了設(shè)計(jì)披摄、施工快捷亲雪，技術(shù)性能穩(wěn)定的特點(diǎn)，1974年在天津通過了國(guó)家鑒定疚膊。 1974年以來义辕，建研院空調(diào)所、四機(jī)部十院等單位分別建立了潔凈技術(shù)試驗(yàn)室寓盗，開展了一些基礎(chǔ)研究灌砖。如建研院空調(diào)所在該所試驗(yàn)室中進(jìn)行了亂流潔凈室均勻分布與不均勻分布計(jì)算 的研究，全頂棚送風(fēng)兩側(cè)下回風(fēng)潔凈室氣流特性的研究等;四機(jī)部第十設(shè)計(jì)研究院在該院的潔凈試驗(yàn)室中進(jìn)行了亂流潔凈室的試驗(yàn)研究傀蚌，高效過濾器送風(fēng)口的氣流分布研究晌叽，人體發(fā)塵 量研究等多項(xiàng)課題。 與此同時(shí)互聪，一些研究單位及設(shè)計(jì)院囊砰，如七機(jī)部七院(航天工業(yè)部七院)、建研院空調(diào)所突棉、四機(jī)部十院为惧、十一院、二機(jī)部二院(核工業(yè)部二院)绒怯、六機(jī)部九院等搬即，和一些大專院校如天津 大學(xué)坑搀、同濟(jì)大學(xué)、河北工學(xué)院組成了配合國(guó)家大規(guī)模集成電路攻關(guān)的潔凈室技術(shù)研究協(xié)作組贿桃，為規(guī)范與提高中國(guó)的潔凈技術(shù)水平溜封，進(jìn)行了一系列的測(cè)試與調(diào)研工作。如在北京哑立、西安袒碍、上海等 地進(jìn)行了不同環(huán)境室外大氣含塵濃度的*臨測(cè)與統(tǒng)計(jì)分析，在全國(guó)各地對(duì)已建潔凈室進(jìn)行了測(cè)試杰捂，并著手對(duì)潔凈室設(shè)計(jì)舆床、施工、運(yùn)行及設(shè)備生產(chǎn)方面的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行總結(jié)嫁佳。 國(guó)外同期潔凈技術(shù)發(fā)展概況大致如下： 六十年代中挨队，美國(guó)的電子、精密機(jī)械等工廠的潔凈室如雨后春筍蒿往，對(duì)當(dāng)時(shí)科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用盛垦，同時(shí)開始了將工業(yè)潔凈室技術(shù)(ICR—Industrial Cleanroom)移植 到生物潔凈室(BCR—Biological Cleanroom)的歷程。七十年代初潔凈室的建設(shè)熱潮轉(zhuǎn)向醫(yī)療瓤漏、制藥腾夯、食品及生化等行業(yè)。 1966年在美國(guó)新墨西哥州建成了世界上*個(gè)垂直單向流的生物潔凈技術(shù)室(BCOR—Biological Clean Operating Room)蔬充。同年蝶俱，當(dāng)時(shí)的美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)AACC(American Association of Contamination Control，后并入IEST—Institute of Environmental Science and Technology)饥漫，發(fā)表了“*的設(shè)計(jì)與建造”榨呆、“層流潔凈空氣在外科領(lǐng)域的應(yīng)用”等指導(dǎo)性文件。 同年還在美國(guó)明尼蘇達(dá)大學(xué)建成了世界上*個(gè)水平層流的無菌室拍斜。1967年在美國(guó)德州的M.D.安德遜病院建成了世界上早的生物潔凈白血病室行删。 在英國(guó)，*的整形外科專家恰利(D.J.Charnley)惹炕，也于1966年建起了稱之為潔凈房(clean house)型式的生物潔凈手術(shù)室偶嘁。1969年在奧地利的里茨建成了歐洲*個(gè)層流病房， 隨后在瑞士睦氧、德國(guó)先后建成用于醫(yī)療的生物潔凈室是龟。 在日本發(fā)展得更快，1965年日本國(guó)立公眾衛(wèi)生院建成了采用高效過濾器的生物潔凈室(BCR)用于無菌動(dòng)物(SPF)的飼育室揽此。1970年在愛知縣職工病院建成了裝配式垂直層流白血病房双竣。 1972年建成了國(guó)立大阪醫(yī)院垂直層流流型無菌手術(shù)室守迫。至1977年底艘赂，病院的生物潔凈室已達(dá)131個(gè)渤尚。 為確保藥品的安全性、有效性听誓，1964年美國(guó)食品藥品管理局(FDA)開始在美國(guó)實(shí)施“醫(yī)藥品的制造和質(zhì)量管理規(guī)范”催杆，簡(jiǎn)稱GMP(Good Manufacturing Practice)。1969年世界衛(wèi)生組織 (WH0)頒布了GMP瑞你，規(guī)定了為保證藥品無菌生產(chǎn)酪惭，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和用水質(zhì)量的要求。生物潔凈室技術(shù)在美者甲、日春感、西歐等工業(yè)國(guó)家的制藥工業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。 美國(guó)FDA于1969年頒布了“食品制造標(biāo)準(zhǔn)”虏缸，即食品的GMP鲫懒，要求在制造和包裝過程中嚴(yán)格控制微生物和溫濕度，以防止食品變質(zhì)刽辙。食品無菌裝罐的潔凈室窥岩，當(dāng)時(shí)在歐美迅速得到推廣。 以美國(guó)為例宰缤，1971年無菌裝罐食品總量為25.4億噸颂翼，1980年增長(zhǎng)為132.7億噸，其中肉制品增長(zhǎng)幅度近19倍慨灭。在食品釀造朦乏、發(fā)酵工業(yè)對(duì)純種的培養(yǎng)、接種挡医、擴(kuò)種等工藝也都采用了潔凈室技術(shù)溢扳。 以占有七成左右潔凈室市場(chǎng)的電子與半導(dǎo)體工業(yè)而言，七十年代被稱為大規(guī)模集成電路(LSI)時(shí)代训癌，而八十年代則被稱為超大規(guī)模集成電路(VLSI)時(shí)代祠乔。集成電路的集成度從1970年 以來，差不多以每隔2~3年增長(zhǎng)4倍速率飛速發(fā)展娶匠。 七十年代末橱序，64K位RAM作為進(jìn)入超大規(guī)模集成電路階段的標(biāo)志性產(chǎn)品研制過程中，注意到其典型線寬為3μm炭答，需控制的小粒徑為0.3~0.8μm疫橘。也就是說，以0.3μm效率為標(biāo)準(zhǔn)的HEPA 過濾器不能適應(yīng)電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展匾颁。美國(guó)癌玩、日本相繼研制與制造了對(duì)0.1μm塵粒計(jì)數(shù)過濾效率達(dá)99.99~99.995%的超高效空氣過濾器——ULPA(Ultra low penetration air)過濾器 (亦可譯為“極低穿透率空氣過濾器”)。

　　Ⅱ-2污益、成熟與發(fā)展階段 七十年代末至八十年代末桃熄，這十年間，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽光燦爛的發(fā)展階段型奥。在中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展歷程中瞳收，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段厢汹。

　　1螟深、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與交往方面： 1979年1月出版了以建研院空調(diào)所為首的設(shè)計(jì)烫葬、研究和大專院校等單位對(duì)建成的工業(yè)潔凈室的測(cè)試和總結(jié)經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上編制的“空氣潔凈技術(shù)措施”界弧，起到了規(guī)范與推動(dòng)當(dāng)時(shí)中 國(guó)潔凈室技術(shù)的重要作用，為日后國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制定奠定了基礎(chǔ)搭综。 1984年12月頒發(fā)了以電子部第十設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制的GBJ73-84國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”夹纫，其中，關(guān)于潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)等同采用了當(dāng)時(shí)上大多數(shù)國(guó)家認(rèn)同 的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B设凹，摒棄了此前在中國(guó)國(guó)內(nèi)曾在不同范圍內(nèi)使用過的多個(gè)借鑒標(biāo)準(zhǔn)而自定的潔凈室分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)舰讹，為中國(guó)潔凈室技術(shù)與接軌向前邁進(jìn)了一步。 隨后闪朱，結(jié)合中國(guó)國(guó)情螟衍，參考標(biāo)準(zhǔn)先后制定了GB6166-85高效濾料性能實(shí)驗(yàn)方法、穿透率和阻力冕泡，GB6167-85塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法佩捎，GB6168-85層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) 等多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)統(tǒng)一與規(guī)范試驗(yàn)刑评、測(cè)定方法哑辐，增強(qiáng)科學(xué)性起了很大作用。 值得一提的是1988年11月定稿的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB12218-89“一般通風(fēng)用空氣過濾器性能試驗(yàn)方法”中規(guī)定采用大氣塵的限徑計(jì)數(shù)效率法來測(cè)定粗且恼、中妹髓、高中效空氣過濾器的效率，這是以 天津大學(xué)為代表的國(guó)內(nèi)各研究單位多年實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)捉寻，在世界上*采用此方法姜筋。1993年歐洲通風(fēng)協(xié)會(huì)(ASHRAE)先后放棄了原有的大氣塵比色效率法(NBS、AFI硼洁、ASHRAE)的計(jì)重效率 法伯板，同時(shí)頒布采用大氣塵或標(biāo)準(zhǔn)塵的計(jì)徑計(jì)數(shù)法。 特別是1982年6月成立了中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)(對(duì)外的名稱是“中國(guó)污染控制協(xié)會(huì)”CCCS—Chinese Contamination Control Society)欢策，并創(chuàng)辦了“潔凈技術(shù)”雜志(現(xiàn)名為 “潔凈與空調(diào)技術(shù)”—Contamination Control & Air-conditioning Technology)吆寨，于1983年正式發(fā)刊，在整合國(guó)內(nèi)潔凈室技術(shù)的各方面力量，推動(dòng)潔凈室技術(shù)進(jìn)步以及在交流方面 起了很大促進(jìn)作用啄清。1986年中國(guó)潔凈技術(shù)學(xué)會(huì)成國(guó)污染控制學(xué)會(huì)聯(lián)盟ICCCS(International Confederation of Contamination Control Society)的成員猜敢。當(dāng)時(shí)的成員國(guó)僅有美(IEST)、 英(SEE)盒延、法(ASPES)、德(DIN/VDI)鼠冕、日(JACA)添寺、意(ASCCA)、瑞士(SRRT)及北歐四國(guó)(R3-Nodic)等懈费。(現(xiàn)增加至18個(gè)成員國(guó)计露，有澳—ACCS、俄—ASEMCO憎乙、比—BCW票罐、韓—KACA、 羅馬尼亞—RACC泞边、巴西—SBCC颖喧、荷—VCCN、蘇格蘭—SZCZ)顾惹。 1998年第九屆ICCCS洛杉磯會(huì)議铅坚、1990年第十屆ICCCS蘇黎士會(huì)議，筆者代表中國(guó)應(yīng)約出任了大會(huì)執(zhí)行主席厉亥。

　　2兰斑、生物潔凈室技術(shù)方面： 生物潔凈室技術(shù)在中國(guó)的起步，較國(guó)外晚了十多年藏趁。七十年代末修暑，一些制藥廠對(duì)原有空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行了改造，開始采用高效空氣過濾器作為空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)的末端谎雷，以代替原有的過濾 器或甘油紗布罩等奥唯。上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院、哈爾濱建工學(xué)院及有關(guān)制藥廠等單位在此時(shí)期先后在上海第四楚榕、第七制藥廠拗疯、鎮(zhèn)江制藥廠采用了生物潔凈室技術(shù)。 1982年中國(guó)制藥工業(yè)公司依據(jù)國(guó)情與國(guó)外經(jīng)驗(yàn)制定了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范”(試行稿)中姜，其中空氣潔凈度級(jí)別參考美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A消玄，將生產(chǎn)環(huán)境分為大于100,000級(jí)及100,000級(jí)的控制區(qū) 和10,000級(jí)及局部100級(jí)的潔凈區(qū)。至1985年底又匯編了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范實(shí)施指南”丢胚，連同經(jīng)過部分修改后的“規(guī)范”一并正式頒布翩瓜，為推動(dòng)制藥工業(yè)的現(xiàn)代化奠定了基礎(chǔ)。1988年衛(wèi)生部頒 發(fā)了“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”，其精神與前述規(guī)范*兔跌，為在制藥行業(yè)推行GMP認(rèn)證準(zhǔn)備了條件勘高。 在此階段生物潔凈室在醫(yī)療方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用。1980年由哈爾濱建工學(xué)院與雞西無專共同研制的簡(jiǎn)易型水平層流空調(diào)凈化機(jī)組用于黑龍江醫(yī)院;由六機(jī)部九院與上海金山電子設(shè)備 廠合作完成的裝配式無菌病室用于上海新華醫(yī)院細(xì)胞研究室坟桅、蘇州醫(yī)學(xué)院华望。 八十年代中，總后營(yíng)房部設(shè)計(jì)院仅乓、天津大學(xué)等設(shè)計(jì)建成了有各種氣流型式赖舟、相當(dāng)于美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NASA-5340Ⅱ的百級(jí)至萬級(jí)的十多間土建式無菌手術(shù)室的301醫(yī)院康復(fù)中心手術(shù)樓。 天津大學(xué)夸楣、天津凈化設(shè)備廠設(shè)計(jì)建成了中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)研究院血研所多間百級(jí)組裝式無菌病室宾抓。 八十年代初、軍事醫(yī)學(xué)*忱确、建研院空調(diào)所屏商、蚌埠凈化設(shè)備廠等單位研制完成了Ⅱ-*(相當(dāng)于P3級(jí))生物安全柜(Biohazard work station)的研制;哈爾濱建工學(xué)院等單位 完成了松江罐頭廠的甜炬乳、西紅柿醬和培根的無菌裝罐室唐耿，開創(chuàng)了生物安全和食品加工生物技術(shù)在中國(guó)的應(yīng)用犹蝇。 在1985年前后，軍事醫(yī)學(xué)研究院研制的JWL針孔式浮游細(xì)菌采樣器和上海整新電子設(shè)備廠囤嗡、同濟(jì)大學(xué)合作研制的SS縫隙式空氣浮游細(xì)菌采樣器通過鑒定删摸，為生物潔凈室技術(shù)的某些 研究工作提供了手段卿俺。

　　3、基礎(chǔ)與技術(shù)研究方面： 在七十年代末至八十年代末這10年中，在潔凈室的基礎(chǔ)和技術(shù)研究方面也取得了眾多成績(jī)衅枫，如： 提出了中國(guó)大氣塵的統(tǒng)計(jì)規(guī)律他嚷、濕度對(duì)大氣塵濃度的作用态练、“W”型大氣塵濃度日分布模型篮踏，為確定室外設(shè)計(jì)濃度提供了依據(jù); 提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果、設(shè)計(jì)原理與計(jì)算方法; 提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計(jì)算公式柳锣、經(jīng)驗(yàn)計(jì)算公式愧理，以及自凈時(shí)間、污染時(shí)間的計(jì)算式; 提出了單向流潔凈室下側(cè)回風(fēng)方式的大室寬折柠、計(jì)算模型以及下限風(fēng)速的概念及數(shù)據(jù); 提出了高效空氣過濾器封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封原理和方案宾娜，倒置式液槽密封方案; 進(jìn)行了人體發(fā)菌量的測(cè)試與分析; 建立了濾材、濾器的細(xì)菌過濾效率測(cè)試臺(tái)扇售，得到了對(duì)大氣塵菌源的濾菌效率與計(jì)數(shù)前塔、計(jì)重效率的相關(guān)關(guān)系。中國(guó)建筑科學(xué)研究院承冰、四機(jī)部十院华弓、十一院等科研院所食零、設(shè)計(jì)院、天津大學(xué)寂屏、清華大學(xué)贰谣、同濟(jì)大學(xué)、哈爾濱建筑工程學(xué)院迁霎、 河北工學(xué)院等院校對(duì)此做了較多的工作吱抚。

　　4、在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面： 1979年至1981年考廉，天津大學(xué)狱林、天津美綸纖維廠等單位通過對(duì)多種材質(zhì)(滌綸、丙綸迈招、維綸、棉衣剂、毛缘赋、超細(xì)玻纖……)、多 種工藝針刺惊派、噴膠誓胆、熱熔、熔噴送服、熱壓庸飘、羅拉)的幾百個(gè)品種、規(guī)格濾料系列研究炼杉，篩選并設(shè)計(jì)定型了TL—Z瞒帜、TL—C系列具有線 徑梯度、密度梯度和材質(zhì)踢漏、工藝復(fù)合型的無織布濾材征绸，部分替代了當(dāng)時(shí)美、法俄占、日等國(guó)引進(jìn)的從粗效至亞高效過濾材料管怠，為國(guó)家節(jié)約 了大批外匯。 1981年缸榄，由四機(jī)部十一院渤弛、河北工學(xué)院、天津第二無線電設(shè)備廠研制成功WGP—01型無隔板高效空氣過濾器(mini pleat HEPA filter), *了國(guó)內(nèi)產(chǎn)品空白甚带。 1985年她肯，四機(jī)部十一院、四川造紙工業(yè)研究所鹰贵、重慶無線電設(shè)備廠共同完成了CGB型高效空氣過濾器的研制辕宏，該過濾器對(duì)0.1μm 塵粒的計(jì)數(shù)效率為99.99~99.995%畜晰，阻力為245~270Pa，經(jīng)鑒定認(rèn)為其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到當(dāng)時(shí)日本生產(chǎn)的ULPA高效空氣過濾器同類產(chǎn)品的 技術(shù)水平瑞筐。1987年1月凄鼻，天津醫(yī)藥凈化設(shè)備廠和建研院空調(diào)所研制的、采用國(guó)外ULPA過濾器(日本忍足株式會(huì)社產(chǎn)品)的0.1μm10級(jí)潔凈室 通過鑒定聚假。1988年5月機(jī)電部第十一設(shè)計(jì)院和重慶無線電設(shè)備廠采用國(guó)產(chǎn)0.1μm高效空氣過濾器的0.1μm10級(jí)潔凈室通過鑒定唠陈，其主要 指標(biāo)達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平。 同期骂妻，國(guó)外潔凈室技術(shù)持續(xù)锭泼、穩(wěn)定發(fā)展與進(jìn)步。 1982年每芯片上約有5~6萬個(gè)器件的16K位隨機(jī)存儲(chǔ)器(RAM)已成品篡氯。1984年256K位RAM已進(jìn)入實(shí)用階段焦凶。同年初日本宣布每芯片設(shè)置 有約200萬個(gè)器件的一兆位DRAM(Dynamic Random Access Memory—動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)試制成功。1985年美國(guó)研制完成4兆位的集成 電路即耕。至八十年代末4M位的DRAM已商品化叁垫。 各種降低能耗，配合工藝過程自動(dòng)化與高潔凈度要求的潔凈室氣流組織方案及技術(shù)在此階段也陸續(xù)誕生克导，如隧道式潔凈室(tunnel type cleanroom)符貌、 潔凈管道(duct type cleanroom)以及SMIF(standard mechanical interface—標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)技術(shù)等。 從八十年代中期以來肪斗，以于微電子行業(yè)來說钾排，1976年4月24日所頒發(fā)的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B所規(guī)定的凈級(jí)別—100級(jí)(≥0.5μm，≯100pc./cu.ft) 已不能滿足需要共螺，1M位的DRAM的線寬僅為1μm该肴，要求環(huán)境級(jí)別為10級(jí)(0.5μm)。事實(shí)上藐不，從七十年代末沙庐，配合微電子技術(shù)的發(fā)展，更高級(jí)別的潔凈室 已在美佳吞、日陸續(xù)建成拱雏，相應(yīng)的檢測(cè)儀器—激光粒子計(jì)數(shù)器、凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(CNC)—也應(yīng)運(yùn)而生底扳≈郑總結(jié)這個(gè)時(shí)期的經(jīng)驗(yàn)和適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步的需要，于是 1987年10月27日頒發(fā)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C衷模，將潔凈等級(jí)從原有的100至100,000四個(gè)等級(jí)擴(kuò)展為1至100,000六個(gè)級(jí)別鹊汛，并將鑒別級(jí)別界限的粒徑從0.5μm~5μm 擴(kuò)展至0.1μm~5μm. Ⅱ-3、與全國(guó)接軌阱冶，走向規(guī)范化 九十年代初至今刁憋，在電子技術(shù)持續(xù)飛速發(fā)展的推動(dòng)下滥嘴，潔凈技術(shù)不斷前進(jìn)，下表給出了上大規(guī)模集成電路的工藝及國(guó)內(nèi)的代表產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程嫁潦。 1992年9月11日頒布的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E更進(jìn)一步取代1988年6月15日頒布的FED—STD—209D捍陌，將潔凈等級(jí)從英制改為米制，潔凈度等級(jí)分為 M1至M7七個(gè)級(jí)別近殖。與209D相比颁究，別又向上延伸了半個(gè)級(jí)別(209D的1級(jí)空氣中≥0.5μm塵粒≯35.3pc./m3菱砚，而209E的M1級(jí)≥0.5μm塵炼≯10pc./m3)。 三十多年來理促，美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209棠镇，一直是世界各國(guó)潔凈技術(shù)行業(yè)*的標(biāo)準(zhǔn)。美國(guó)總服務(wù)局(GSA—U.S.General Services Administration)控栓，也就是批準(zhǔn) 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)供聯(lián)邦政府各機(jī)構(gòu)使用的單位亭郑，于2001年11月29日發(fā)布公告，廢止FED—STD—209E疚筋，等同采用ISO—14644相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)扫皱。這個(gè)決定標(biāo)志著潔凈技術(shù) 隨同世界經(jīng)濟(jì)一體化進(jìn)一步走向大同足绅。 表一 九十年代初至今捷绑，中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，投資持續(xù)注入氢妈，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠粹污。因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有 更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外高級(jí)別潔凈室的設(shè)計(jì)理今，了解世界的*設(shè)備和裝置首量、管理與維護(hù)等等壮吩。從這方面來看，的確從各個(gè)角度與日益接軌加缘。 中國(guó)也投入了大批財(cái)力發(fā)展微電子技術(shù)鸭叙。在這階段中先后建成了首鋼日電公司、華晶電子集團(tuán)公司拣宏、上海華虹NEC電子公司沈贝、紹興華越微電子公司、以及天津 MOTOROLA公司勋乾、上海貝嶺微電子公司等宋下，但總起來說微電子技術(shù)與*生產(chǎn)水平特別是研發(fā)水平上仍有相當(dāng)大的差距。 九十年代初以來帕侦，潔凈技術(shù)在制藥工廠貫徹實(shí)施GMP法過程中得到了普及岖酸，全國(guó)幾千家制藥廠以及生產(chǎn)藥用原材料皆坚、包裝材料等非藥企業(yè)，陸續(xù)進(jìn)行了技術(shù) 改造币遮。其規(guī)模之大笑敷、范圍之寬都是*的。1992年中國(guó)制藥工業(yè)公司瞬拆、中國(guó)化學(xué)制藥工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)1985年頒發(fā)的“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范(GMP)實(shí)施指南”進(jìn)行了修訂卧袄， 頒發(fā)了新的實(shí)施指南。隨后在1998年頒發(fā)了理一步與接軌的削父、由國(guó)家藥品*組織修訂的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”纸谤，即中國(guó)1998GMP(1999年8月1日起實(shí)施)， 為加大GMP的推行力度朗夺、在制藥全行業(yè)實(shí)施認(rèn)證體制進(jìn)一步奠定了基礎(chǔ)讲稀。九十年代初以來，醫(yī)院無菌手術(shù)室的建設(shè)受到各方面的關(guān)注背哎，陸續(xù)在各大城市建起了上千間 十萬級(jí)至百級(jí)不同級(jí)別的生物潔凈手術(shù)室葱峡、生物潔凈病室及實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房。 概括這十年來國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)行業(yè)的歷程龙助，依筆者個(gè)人的看法是喜憂參半砰奕。值得欣慰的是，潔凈室技術(shù)行業(yè)在許多方面日益與接軌提鸟，反映在相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容军援、潔凈室設(shè)計(jì)思路與方案、 施工技術(shù)與管理称勋、檢測(cè)手段與技術(shù)等等方面胸哥。如反映在中國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)修定中，2001年11月13日發(fā)布的GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”(Code for Design of Clean Room)赡鲜， 在空氣潔凈度等級(jí)劃分上空厌，明確等效采用標(biāo)準(zhǔn)ISO14611-1，就是一個(gè)很好的例證银酬。依靠制藥工業(yè)與普通電子裝配業(yè)嘲更，以及醫(yī)療衛(wèi)生、食品揩瞪、化妝品業(yè)的帶動(dòng)赋朦，潔凈室技術(shù)得到*的普及。 但這些行業(yè)基本上都是ISO5或中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)N5(相當(dāng)于原聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E的100級(jí))及以下級(jí)別的潔凈室讶瘩，所采用的主要設(shè)備器材如高效及各級(jí)過濾器达植、吹淋室、凈化工作臺(tái)欺划，空調(diào)制冷機(jī) 組以及金屬壁板轿侍、地面復(fù)合材料等酒尝，基本上都是國(guó)內(nèi)生產(chǎn)制造的。因此從七十年代*的皿腾、主要集中在京津地區(qū)迫手、上海地區(qū)的十幾家;八十年代末的百余家潔凈室設(shè)備生產(chǎn)廠、施工安裝單位索廊， 發(fā)展到現(xiàn)在幾乎遍布全國(guó)各省市的上千家潔凈室相關(guān)設(shè)備舒搬、器材生產(chǎn)制造廠、施工安裝單位政辕，和一批積累了相當(dāng)豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計(jì)單位疤信、調(diào)試檢測(cè)單位。 全國(guó)處于運(yùn)行狀態(tài)的各種級(jí)別的潔凈室面積淹遵，據(jù)不*統(tǒng)計(jì)和測(cè)算口猜，從八十年代初10多萬平方米猛增到200多萬平方米。某些微電子廠生產(chǎn)車間的潔凈級(jí)別達(dá)到了0.1微米1級(jí) 的高水平透揣。在潔凈空氣流流型理論計(jì)算與試驗(yàn)研究方面济炎，哈爾濱建工學(xué)院、天津大學(xué)辐真、建研院空調(diào)所等單位须尚，采用數(shù)值仿真方法，利用CFD(computational fluid dynamics)與試驗(yàn)驗(yàn)證相結(jié)合的方法侍咱， 開展了矢流流型耐床、普通潔凈室高效過濾器風(fēng)口布置方案與潔凈效果等方面的研究，并參加了歷屆ICCCS學(xué)術(shù)交流會(huì)放坏，在上發(fā)表了一批研究論文咙咽。 天津大學(xué)等單位參加了MOTOROLA老玛、SAE淤年、KODA、CTS不同潔凈級(jí)別的蜡豹、由國(guó)外設(shè)計(jì)蛙陆、采用國(guó)外設(shè)備器材、施工管理技術(shù)建造的潔凈室的系統(tǒng)調(diào)試與檢測(cè)摄李、驗(yàn)收买鹊。較深入地理解、 掌握了國(guó)外微電子高級(jí)別潔凈室墅萌、制藥工業(yè)潔凈室的設(shè)計(jì)要點(diǎn)筑卑、技術(shù)關(guān)鍵，以及調(diào)試驗(yàn)收技術(shù)及相應(yīng)規(guī)范肄酬，與美國(guó)FDA陈售、NEBB川麦、IEST，日本的JACA等建立了廣泛的伦颠。 特別值得提出的是善歌，在新一屆中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)的積極努力下，中國(guó)申辦第18屆污染控制學(xué)術(shù)會(huì)議(2006年)獲得成功侮杆，這是自1972年ICCCS創(chuàng)建以來*在華舉辦這樣的盛會(huì)吸哩， 將對(duì)中國(guó)的潔凈技術(shù)進(jìn)步起到重要推動(dòng)作用。

　　以上這些都是中國(guó)潔凈技術(shù)繼續(xù)發(fā)展的有利條件與因素疮蹦，令人遺憾或者值得關(guān)注改進(jìn)的方面诸迟，筆者認(rèn)為有以下方面：

　　1、引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)愕乎、設(shè)備亮蒋、器材的同時(shí)，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品的研究妆毕，開發(fā)的力度不夠慎玖，技術(shù)進(jìn)步緩慢。 典型的是一些消耗性器材笛粘，如粗趁怔、中效空氣過濾器，盡管技含量并不高薪前，但由于濾材生產(chǎn)廠沒有*的設(shè)備润努、嚴(yán)格要求的工藝以保證濾材性能穩(wěn)定和質(zhì)量不斷改進(jìn)，并隆低價(jià)格;濾器制造廠 沒有裝置與接軌的檢測(cè)系統(tǒng)示括，不能向用戶提供過濾器完整與可靠的性能數(shù)據(jù)铺浇。因此，還有相當(dāng)一部分合資叛始、獨(dú)資微電子企業(yè)祷消，不但ULPA、HEPA空氣過濾器由國(guó)外進(jìn)口绣坛，甚至消耗量相當(dāng)大的粗约落、中效空氣過濾器也 依慣例由國(guó)外進(jìn)口。 還有一些用量很大的設(shè)備與器材巢的，如FFU機(jī)組确铛、鋁蜂窩夾心壁板、鋁合金架空地板嘴符、防靜電地面卷材等巨揪，雖然國(guó)內(nèi)也有一些替代品或相近的產(chǎn)品，但總起來看，質(zhì)量和性能與*進(jìn)產(chǎn)品還有較大距離涂嫡〕趺辏空調(diào)凈化自動(dòng)控制系統(tǒng)的一些重要配件也難于與國(guó)外產(chǎn)品相提并論，如電動(dòng)風(fēng)閥的氣密性玷利、調(diào)節(jié)特性及靈敏度等乍恐。 檢測(cè)儀器的質(zhì)量與技術(shù)性能和PMS、TSI等產(chǎn)品更是存在短時(shí)期難于逾越的差距测砂，甚至與某些國(guó)外一般性產(chǎn)品茵烈，如MET ONE等，也在性能砌些、質(zhì)量呜投、外觀等方面存在較大的差距。國(guó)產(chǎn)的塵粒計(jì)數(shù)器多年來幾乎止步不前存璃，生產(chǎn)廠家不少仑荐，質(zhì)量提高不多。而國(guó)產(chǎn)浮游微生物取樣器性能纵东、質(zhì)量的穩(wěn)定性就更不理想粘招。

　　2、基礎(chǔ)研究停滯 由于機(jī)制變革偎球，一些重要研究機(jī)構(gòu)洒扎，難于獲得研究課題的專項(xiàng)資助，院校也同樣存在研究經(jīng)費(fèi)緊缺衰絮，很難持續(xù)與專注地對(duì)一些理論與應(yīng)用技術(shù)進(jìn)行研究驹播。因此，這些年來在潔凈技術(shù)方面的研究工作相對(duì)沉寂增珠、 停滯谓虽，成果不多。

　　3弓并、交流尚待深入 盡管改革開放以來笤簸，交往日益頻繁，通過中國(guó)潔凈技術(shù)學(xué)會(huì)九十年代以來舉辦的幾屆潔凈設(shè)備展覽與學(xué)術(shù)交流活動(dòng)认寓，加深了與國(guó)外潔凈技術(shù)行業(yè)的系檬桅，特別是與國(guó)外潔凈室產(chǎn)業(yè)界的交往物少。但與國(guó)外研究 機(jī)構(gòu)奉量、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的立法機(jī)構(gòu)、*的相關(guān)機(jī)構(gòu)如FDA东著、IEST等交往較少笼糙，更少協(xié)作，這就很不利于我們與研究進(jìn)程同步，不利于中國(guó)與同行在基礎(chǔ)理論研究與技術(shù)更新以及規(guī)范制定等方面深入交流拳喘，以提高我們自身的研發(fā)能力苫昌，逐步創(chuàng)建有地域特色的潔凈技術(shù)體系。 總之幸海，今后要做的事情很多祟身，我們應(yīng)該認(rèn)清面臨的形勢(shì)。今天我們面對(duì)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)物独，同時(shí)又有*的機(jī)遇和條件袜硫。一些在潔凈技術(shù)領(lǐng)域造詣很高的*的華裔學(xué)者，如明尼蘇達(dá)大學(xué)氣溶膠研究所的劉揚(yáng)輝教授等挡篓，他們 都十分關(guān)心中國(guó)的研究工作;海峽兩岸學(xué)人婉陷、企業(yè)家在潔凈室技術(shù)方面各有所長(zhǎng)。充分調(diào)動(dòng)這些積極因素官研，是能夠促使中國(guó)的潔凈技術(shù)在新世紀(jì)更上一層樓的秽澳。

　　主要參考數(shù)據(jù)：

　　1、電子工業(yè)歷史數(shù)據(jù) 電子設(shè)備冊(cè)凈化設(shè)備分冊(cè).機(jī)電部第十設(shè)計(jì)院主編.

　　2戏羽、潔凈室技術(shù)講義(天津大學(xué) 涂光備 碩士博士課程)

　　3担神、制藥工業(yè)的潔凈與空調(diào) 涂光備 中國(guó)建筑工業(yè)出版社 1998年12月 涂光備，男始花，1937.1出生芙糙，1960年畢業(yè)于清華大學(xué)土建系暖通空調(diào)專業(yè)。現(xiàn)任天津大學(xué)環(huán)境科學(xué)與工程學(xué)院建筑環(huán)境與設(shè)備系教授骨矗、博導(dǎo)