光學(xué)微電子潔凈廠房目前已是半導(dǎo)體、精密制造狡耻、液晶制造顿涣、光學(xué)制造、線路板

制造和生物化學(xué)酝豪、醫(yī)藥涛碑、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來(lái)孵淘，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展蒲障，對(duì)于產(chǎn)

品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切瘫证，如超大型積體電路之研究制造揉阎，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展

上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于*地位背捌。



光學(xué)微電子凈化工

光學(xué)微電子潔凈廠房

目前已是半導(dǎo)體毙籽、精密制造、液晶制造蝌飘、光學(xué)制造北拌、線路板

制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥跑既、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施稼崎。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展轿白，對(duì)于產(chǎn)

品的高精密度化清农、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造罢摧，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展

上極為重視的項(xiàng)目栽寄，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于*地位。

                

    光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子拆聋、有害空氣纤耐、細(xì)菌等之污染物排

除姊呐，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度雌隅、室內(nèi)壓力翻默、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明恰起、靜電控制在某一

需求范圍內(nèi)修械，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

 

無(wú)塵車(chē)間/潔凈室的目的如下：

功能一：過(guò)濾循環(huán)空氣建議無(wú)塵環(huán)境检盼，

 

功能二：調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境肯污。

 

功能三，建立正壓環(huán)境避免外氣污染
 

                     
 

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：1吨枉、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

 

2蹦渣、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
 

3貌亭、 管理區(qū)（包括辦公柬唯、值班、管理和休息等）
 

4圃庭、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用锄奢、電氣用房、高純水和高純氣用房剧腻、冷熱設(shè)備用房）

 

 

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒

→ 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程工划，即可達(dá)到凈化目的。

 

 

 

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次占找；10000級(jí)≥20次恒左；1000≥30次。

壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa

 

平均風(fēng)速：10級(jí)络务、100級(jí)0.3－0.5m/s蔬旋；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃蟹嫁；波動(dòng)±2℃暗沉。
 

溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜讹玉；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
 

噪聲≤65dB（A）刃伞；

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％挡辩；

照度300LX。

 

                          

 

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料1. 凈化廠房墻钥嫌、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造垃杖，其特點(diǎn)為美觀男杈、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角调俘、門(mén)伶棒、

窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
 

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板彩库，有防靜電要求的肤无，可選用防靜電型。
 

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成骇钦，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板宛渐。
 

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔眯搭，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板窥翩，不生銹不粘塵，宜清潔鳞仙。

光學(xué)微電子潔凈廠房